テクノファイン：半導体分野をはじめとする、電子工業において欠かすことのできない真空プラズマ装置を中心に、半導体装置の開発・製造・販売をおこなっております。お客様のニーズに合わせ た装置開発をいたしますので、ご相談下さい。当社の多元スパッタ装置は４ヶ所の基板ステージを搭載しており、個別に加熱・冷却の設定ができるので,異なる成膜条件にも迅速な処理が可能です。３種類のターゲットが同時 にセットでき、大気開放することなく３種類の成膜が可能です。

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