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| ■ 真空豆知識 |
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真空とは全く空気のない状態をイメージされる方が多いかもしれませんが、ＪＩＳにおける真空の定義は「大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態」のことを指します。
この圧力の低い状態で起こる現象を利用して、吸引、吸着、成型、充填、置換、保存、乾燥、蒸留、濃縮、脱気、成膜、断熱、冷却・・・・といった操作を行うことができます。
真空を利用してできる製品には様々なものがあります。例えば、眼鏡レンズのコーティング、装飾工芸品、半導体デバイス、ビデオディスク等は真空による薄膜を利用しています。
プラスチックケースは真空成型で作られます。医薬品やインスタント食品には真空凍結乾燥、野菜の保存には真空冷却が使われます。真空状態を保ったものには、蛍光灯や魔法瓶といったものがあり、真空による放電や断熱を利用しています。
これらの製品を製造するために真空機器が欠かせないものとなっています。
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真空要素技術と真空応用技術を明確に区別することはできませんが、便宜的に、ポンプのように真空を作る技術や、真空計のように真空を測ったりする技術を真空要素技術と位置付け、蒸着装置やスパッタリング装置といった真空要素技術を組み合わせて構成するシステムを真空応用技術として位置付けます。
真空要素技術には次のようなものが挙げられます。
| １ |
真空を作る・・・・・・ |
真空ポンプ |
| ２ |
真空を測る・・・・・・ |
真空計 |
| ３ |
真空部品・・・・・・・ |
バルブ、可動配管、電流導入端子など |
| ４ |
真空系の構成（設計）や表面処理 |
| ５ |
真空装置に使われる材料 |
| ６ |
リークテスト |
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真空下での物理現象や化学現象を利用して様々な産業に役立てる技術を、真空要素技術と区別して、「真空応用技術」として位置付けます。主な現象と、その現象を利用した真空機器を紹介します。
【真空下での物理的現象を利用した技術】
| １ |
大気との圧力差を利用 |
排水用吸引ポンプ、真空チャック |
| ２ |
気体の分子密度減少を利用 |
白熱電球、真空溶解、蒸留、乾燥、包装 |
| ３ |
気体分子の平均自由行程を利用 |
真空断熱（魔法瓶）、電子管、電子顕微鏡、加速器、蒸着、蛍光灯、レーザ、核融 合、スパッタリング（放電持続） |
| ４ |
清浄な表面維持による |
電子源、電子デバイス製造（人工格子、半導体素子） |
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【真空下での化学的現象を利用した技術】
| １ |
プラズマ反応 |
材料合成（太陽電池やダイヤモンド薄膜形成）、表面改質（親水性表面層形成）
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| ２ |
元素供給 |
組成改変（イオン注入や表面局所合金化） |
| ３ |
分解析出 |
成膜（減圧CVD、プラズマCVD、ガスソースMBE、人工格子） |
| ４ |
表面反応 |
成膜・表面層形成（化成蒸着、化成スパッタリング、イオンプレーティング、硬質皮膜形成） |
| ５ |
反応除去 |
エッチング（微細加工、電子デバイス製造） |
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| （日本真空工業会） |
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| 会社概要 |
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株式会社小野崎製作所は昭和５１年設立。ステンレス加工を主体とした真空機器分野の製造技術を生かした加工組立を得意としています。
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