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表面粗さRa1nm以下を測定。ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」

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表面粗さ測定 電子材料 光学材料  /  セラミックス 電子・半導体 光学機器

 

超研磨面の表面粗さから、数百μmの段差まで測定可能

ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」

 

■  ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」の特徴

■ 「Nexview」のラインプロファイルとエリアデータの比較

■  ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」による表面粗さ測定が可能な素材一覧

■  「Nexview」測定~お客様からの喜びの声

■  表面粗さ測定へのお問い合わせ

 

 

 

セラテックジャパンは、ZYGO「Nexview」の導入により、

セラミックス加工後の高精度な面精度の保証ができます。

 

「Nexview」は1nm以下の表面粗さ~数百μmの段差まで測定が可能。従来の非接触式表面粗さ計では捉えられなかった、ナノオーダー以下の表面粗さを捉えることが出来ます。

 

   ZYGO「Nexview」

 

ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」の特徴

 

・非接触で微小エリアの形状(表面粗さ)測定。
・測定データはエリア(面)でもライン(2次元)でも表示可。
・1nm以下の表面粗さ~数百μmの段差まで測定可。
・ラップ面のような粗い面の表面粗さも測定可。
・粗面ならば、最大傾斜80°まで測定。
・ウエハ表面全体の粗さ測定時間<10秒
・三次元表面性状国際規格_ISO25178に準拠。

 

 

「Nexview」のラインプロファイルとエリアデータの比較

 

ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」は、非接触測定であるため研磨面にキズをいれることなく表面粗さを測定できます。

測定に掛る時間は約5秒程度、データの表示までの時間を併せても10秒程度で測定でき、且つ3次元測定が可能です。

 

 

 ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」による

表面粗さ測定が可能な素材一覧

 

セラミックス(アルミナ、ジルコニア、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素等)、ガラス、水晶、石英、結晶物、硬くて脆い新素材等

 

 

 

 「Nexview」測定~お客様からの喜びの声

 

 

・「気づかなかった素材欠陥が見えた。」

 

・「測定をしながら、更に精度を求めることが可能な点(追加工による精度UP)がうれしい。」

 

・「加工に必要な要素技術が一通り揃っているので、最適な加工プロセスの提案をいただけた。また、その測定も自社以上の精度で保証いただけるのはありがたい。」

 

 

 

 

表面粗さ測定へのお問い合わせ

 

セラテックジャパンは超研磨面の表面粗さから数百μmの段差まで測定可能な

ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」による、表面粗さ測定だけでなく、セラミックス素材の切断加工、研磨加工、研削加工、光学薄膜設計・成膜までトータルに対応。他社とは違い、すべて自社内で一貫生産できる体制を整えています。

さらに、最新鋭の測定機器の導入により、高い加工精度を保証できます。

 

表面粗さ測定のほか、セラミックス素材の切断加工、研磨加工、研削加工、光学薄膜についてお気軽にお問い合わせください。

 

 

 

 

 

製品概要 ZYGO/3次元光学プロファイラー「Nexview」
特徴 ・非接触で微小エリアの形状(表面粗さ)測定。
・測定データはエリア(面)でもライン(2次元)でも表示可。
・1nm以下の表面粗さ~数百μmの段差まで測定可。
・ラップ面のような粗い面の表面粗さも測定可。
・粗面ならば、最大傾斜80°まで測定。
・ウエハ表面全体の粗さ測定時間<10秒
・三次元表面性状国際規格_ISO25178に準拠。
製品名・型番等
シリーズ名
ZYGO「Nexview」
納期 測定/非接触でナノオーダー以下の表面粗さをすばやく測定ができるため短納期対応が可能
また、当社の得意とする一貫加工体制によりリードタイムの短縮が可能
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