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高分解能で微小領域の熱物性測定。「熱物性顕微鏡 TM3」

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ベテル 検査・測定機器 その他の業種  / 2011年05月24日 /  試験・分析・測定 光学機器

高分解能で微小領域の熱物性測定
熱物性顕微鏡置『サーマルマイクロスコープ TM3』

  


熱物性顕微鏡の測定とは・・・ 試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。
1. 金属の反射率は、表面の温度により変化する性質(サーモリレクタンス法)がありますので、加熱用レーザと同軸に照射した検出用レーザの反射強度変化を捉えることで表面の相対的温度変化を測定します。
2. 熱は金属薄膜から試料に伝播し、表面の温度応答には位相の遅れが生じます。この位相の遅れは、試料の熱的特性により変化します。この加熱光と検出光の位相の遅れを測定して熱浸透率を求めます。

 ■ 熱物性顕微鏡置「サーマルマイクロスコープ TM3」の特長 

  • 検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定(点・線・面測定)が可能です。
  • 深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
深さの範囲を変えての測定
  • 基板上の試料も測定出来ます。
  • レーザ光による非接触測定です。
  • 薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

 

 ■ 熱物性顕微鏡置「サーマルマイクロスコープ TM3」の仕様 

測定モード 熱物性分布測定(1次元・2次元・1点)
測定項目 熱浸透率、(熱容量)、(熱伝導率)
検出光スポット径 約3μm
1点測定標準時間 10秒
使用温度範囲 24℃±1℃(装置内蔵温度センサーによる)
※2007年2月現在 (詳しい仕様はお問い合わせ下さい。)

 

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