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非破壊検査に最適 熱を使ったデュアルモード観察「熱伝播検査装置 TSI-1」

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ベテル 検査・測定機器 その他の業種  / 2011年05月24日 /  電子・半導体 試験・分析・測定 光学機器

新発想!サーマルイメージング非破壊検査熱伝播検査装置
『イメージングスコープ TSI-1』

熱を使ったデュアルモード観察で非破壊試験

【赤外線カメラ方式】
試料にレーザによる変調加熱を与え、赤外線カメラにより赤外線放射量の変化を検出することで試料内部の異常箇所を検知します。

【熱電対方式】
試料に変調加熱を与え、熱電対とロックインアンプにより熱の伝播速度を評価することで、試料と試料の同一性を評価します。基板上に成膜した機能性薄膜の良品検査に利用できます。

  

 

■ 熱伝播検査装置「イメージングスコープ TSI-1」の特長 

  • レーザーによる加熱機能
  • マクロ撮影光学系(分解能約20μm)
  • 高性能赤外線カメラ(7.5μm~13.5μm)
  • 独自のノイズリダクション技術
  • 測定準備は扉を開けて試料を置くだけで簡単に出来ます
    水没の必要なし
    研磨や加工不要
    表面処理不要

 

■ 内部の異常を可視化。界面の熱拡散性の評価 

省エネ化のためにはエネルギー効率の向上が重要なテーマです。本装置は電子デバイスの消費電力との問題に着目し、デバイス内部の熱特性を可視化、相対数値化することで界面の熱拡散性の評価を可能としました。

また、省エネ化へはその熱伝導性の高さからダイヤモンドやDLCが注目されていますが、それらの界面から熱を逃がす熱拡散性の評価は非常に重要です。

さらに、これら物質の界面の密着性が性能を左右するとも言われています。本装置は界面の密着性を熱により評価することを目指しました。

TSI-1半導体集積回路の実装部分
半導体集積回路の実装部分(半田付け不良箇所で熱伝播が阻害)

TSI-1セラミックコンデンサ 
セラミックコンデンサ(放熱性の高いリード線を可視化)


■ 熱伝播検査装置「イメージングスコープ TSI-1」の仕様 

光学倍率 1.15倍
モニタ上倍率 19倍 ※1
測定波長帯域 7.5μm~13.5μm
本体外寸(WDH) 500x450x500
※1)14インチモニタにおけるフルスクリーン表示にて

 

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