ディスプレイ開発現場で培った高度な分析技術で、お客様の課題を解決いたします。
製品・技術
試料最表面の無機物・有機物の成分分析に最適！
表面汚染、残渣、転写物の確認をはじめ、様々な異常原因 (シミ、ムラ、ハジキ)の調査に、試料最表面の無機・有機物の特定を行います。
従来は不可能だった質量数の大きな分子イオンも、ppm/ppbレベルで検出可能です。
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日立アーバンサポートのTOF-SIMS分析の特徴 |
- ppm/ppbレベルの高い検出感度
- 質量数の大きな分子イオンも測定可能
- 50mm□までの大面積試料が測定可能
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保有設備 |
固体表面分析装置 TOF-SIMS5
| メーカー | ION-TOF |
| 型式 | TOF-SIMS5 |
ドイツのION‐TOF社製のTOF‐SIMS5は、小さな電流密度で非破壊的に分析できるため、試料表面のフラグメンテーションを抑制でき、大きな構造を保ったままの状態で二次イオンの計測が可能です。
TOF-SIMS5
飛行時間型二次イオン質量分析装置
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分析事例 |
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TOF‒SIMSを利用した高度な表面分析なら、 日立アーバンサポートまで、お気軽にご相談ください。 |
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- SIMS分析で、材料の表面を数10μm領域からppmオーダーで分析 (2015年11月13日)
- TOF‒SIMSを駆使して、従来は不可能だった質量数の大きな分子イオンもppm/ppbレベルで検出可能 (2015年11月13日)
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