微小異物の採取、高精度な断面出し、試料加工などの高い技術と最新分析装置を駆使し、迅速に分析を実施、報告します。
有機多層膜の高分解能観察サービス(STEM観察)を開始しました！
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製品・技術
異物の発生源の特定と工程改善に
プリント基板、液晶ディスプレイ、自動車、フィルム、薬品、医療などの分野において、製品の歩留に大きな影響を与える異物は、いち早く分析することが要求されます。
アイテスでは、異物の採取技術、試料加工技術を駆使して、迅速な分析結果をご報告します。
アイテスの微小異物分析の特長 |
有機系異物の場合、
- 20μm程度の分析が可能
それ以下でも、同じ組成の異物が多数あれば集めて分析します - 異物が表面にあれば2μm程度の異物でも集めて分析が可能
- 数が少ない場合はラマンで分析可能
- 樹脂中に埋もれている場合は掘り出して分析することも可能
異物分析技術の紹介 |
異物分析のための採取技術
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| 異物の採取 | 前処理 | FT-IR分析 |
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イメージングFT-IRによる微小有機異物の分析
サービス概要
| 顕微ATR法 | ：約5μm以上あれば異物のIRデータ取得可能 |
| 面分布像 | ：有機物の面内分布の観察が可能 |
| 時間変化 | ：秒単位で変化する有機物の状態測定が可能 |
特徴
| 測定方法 | ：イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示 |
| 測定領域 | ：透過法/反射法 175μm、ATR法 35μm |
| 空間分解能(ピクセルサイズ) | ：透過法/反射法 5.5μm、ATR法 1.1μm |
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多層膜中に埋もれた異物の掘り出し
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| 多層薄膜中の異物 | 表面層の切り取り | Siウェハ上に載変えサンプリング。FT-IR分析 |
アイテスの異物分析事例 |
不良を引き起こす20μmあるいはそれ以下の異物、特に有機系異物の分析を行うことにより、異物の発生源を特定し、工程改善に繋げることができます。
微小異物の分析事例
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ポリエチレン袋上の滑剤(約5μmΦ) 10μm以下の異物でも数個集めて分析することが可能。 |
滑剤のFT-IR分析例
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ポリエチレンフィルム上の滑剤の分析
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| 滑剤の光学顕微鏡写真 | 脂肪酸アミドの分布 | 脂肪酸アミドの分布 |
各ポイントのFT-IRスペクトル
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微小異物分析に関する詳細は、お気軽に問合せください。
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