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10μmの微小領域・多機能分析を実現「X線光電子分光装置」[サーモフィッシャーサイエンティフィック]

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メールマガジン 受託分析/試験機器  / 2018年01月11日 /  化学・樹脂 試験・分析・測定 先端技術

No.2357 2018年1月11日

● 低濃度化合物や10μmの微小領域測定が可能に

装置のパフォーマンスと測定の完全自動化を両立した最新のX線光電子分光
装置(XPS)を開発したのが、サーモフィッシャーサイエンティフィック株
式会社様です。

XPSの新製品「Thermo Scientific Nexsa」は、新開発のマイクロフォーカス
型高性能X線源により、低濃度化合物や10μmの微小領域の測定が可能です。
データの品質やスループットにおいて妥協することなく、かつてない拡張性
を実現しました。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

X線光電子分光とUPS・REELS・ISS・Ramanの複合測定で詳細解析が可能に
高速イメージング技法SnapMAPで、関心領域を絞り込み


■□――――――――――――――――――――――――――――――□■


■ 多機能オプション搭載でニーズに応じた分析が可能
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「Nexsa」は、UPS(紫外線光電子分光)・REELS(反射エネルギー損失分
光)・ISS(イオン散乱分光)・Raman(ラマン分光)など多機能なオプショ
ンが搭載可能。XPSとの複合測定により、従来装置よりもさらに詳細なサン
プルの解析ができるようになります。

また、薄膜や多層膜の深さ方向の情報を取得するために、Ar単原子イオン銃
または単原子・クラスターデュアルビームイオン銃を用いてデプスプロファ
イル測定を行います。

自動アライメント機構と自動ガスハンドリング機構により、測定の完全自動
化と最高レベルのパフォーマンス、優れた再現性を実現しました。


■ 高速イメージング技法で、迅速・簡単に測定場所を設定
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ユニークな3つのカメラ光学系により、迅速に関心領域を見つけ、測定場所
を簡単に設定することができます。

関心領域を簡単に見つけられない場合も、高速イメージング技法SnapMAPを
用いることで、全体にフォーカスがしっかりと合ったXPS分析イメージを得
ることができます。

また、SnapMapは解析にも使用できます。主成分分析など必要とされる機能
を含むThermo Scientific Avantageソフトウェアを使用して、定量化された
化学状態のイメージが得られます。

>> X線光電子分光装置「Thermo Scientific Nexsa」の詳細はこちら

>> カタログダウンロードはこちら

研究開発ラボ・プロセス管理用の各種分析装置、計測機器を開発・販売して
いる同社。製品はユーザーの声を反映させて、定期的に改善しています。

レオメーター、エクストルーダー、卓上小型射出成型機、iXRコンパクトラ
マン分光装置などもラインナップしています。

>> 分析装置、計測機器はこちら

>> X線光電子分光装置「Thermo Scientific Nexsa」のお問い合わせはこちら


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