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事例

X線透視観察

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観察  /  自動車 電子・半導体 試験・分析・測定

■X線透過観察について

 

①概要

 X線透視観察では、物質の内部構造を非破壊で観察できます。

 

②試験の原理および目的

 X線透視観察装置は、一般に、タングステンの陰極(フィラメント)および陽極(ターゲット)から構成される2極管構造のX線源およびX線検出器から構成され、観察対象は線源と検出器の間に配置します。X線源の陰極側で発生させた熱電子を数十KVの高電圧で加速し陽極側に衝突させることで陽極側よりX線を発生させます。一般に、X線は光と同じ電磁波で波長が1pm - 10nm程度です。波長が短いため、通常の可視光より光の粒子的な性質が優位となり、直進性が高く、また、物質透過性も強くなります。X線を材料に照射した場合、一部が透過し、残りは物質に吸収されます。吸収の程度は、材料の厚さ、密度などに依存します。すなわち、材料が厚くなると、吸収されるX線が多くなるので、透過される量が減ります。また、材料の密度が高くても同様の現象が起こります。そこで、発生させたX線を観察対象に照射し、透過してきたX線の減弱を検出器により電気信号の強弱に変換し、画像化します。得られた観察対象のX線透視像により材料の密度差・構造・欠陥等の観察を行います。

 

③X線透視装置によるプリント基板のCAF観察事例

画像は、CAFによりショートした箇所のX線画像です。このように、非破壊で、内部を観察することができます。

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