超音波顕微鏡観察について

■超音波顕微鏡観察について

①概要

物質を透過する超音波の音響インピーダンスの差を利用して、物質中のボイドなどを非破壊で観察する手法です。

②観察の原理と目的

弊社で使用している超音波顕微鏡は、機械走査型超音波顕微鏡であり、超音波の送受信方法として、反射および透過のいずれも対応可能です。反射型の基板構成は、水に浸漬させたサンプルの上方に、超音波プローブである音響レンズおよび超音波トランスデューサが位置し、制御系に接続されています。制御から発せられた送信波であるパルス信号がトランスデューサに印加され、超音波が励振されます。超音波は音響レンズによって収束し、水中に浸したサンプルに照射されます。超音波は、サンプル表面または内部を通過し、変化するとともに、それぞれの界面で反射されます。反射してくる超音波を再度音響レンズにて受信し、トランスデューサを介して電気信号に変換して、反射信号の変化を2次元画像として表示します。

超音波の周波数が高いほど、照射する超音波のパルス幅を狭くすることができますので、距離分解能は向上します。しかしながら、周波数が高くなると、物質中の超音波の減衰が増しますので、深さ方向の分解能は下がります。弊社では、15MHz、30MHz、50MHz、100MHz、230MHzの周波数に対応しています。
パッケージICの剥離調査、樹脂内ボイドの調査、基板とめっき層の界面剥離調査。信頼性試験と組み合わせることで、不具合発生の追跡調査も可能。サンプル中のボイドなどの空隙を観察いたします。

③超音波顕微鏡のスペックならびに設置可能サンプル

■Cモード走査型　高精度超音波顕微鏡
●メーカー：Sonoscan製
●品　番：C-SAM D-9000
●特　長：C-SAMとは、Constant-depth mode Scaning Acoustic Microscorpeの略。音響特性が異なる材料界面では超音波が反射される特性を活かし、その反射波や透過波を解析することで、非破壊構造解析が可能。X線による非破壊解析と異なり、下記の特徴があります。
●試料サイズ：400mm四方のプリント基板であれば設置が可能。観察可能な範囲は、縦300mm×横300mm程度。高さは5cm程度まで。

④標準単価

基本料金￥25,000～／件　撮影￥3,500～／枚（すべて税抜価格）