製品・技術
有機EL成膜装置を新規導入しました。
2016年12月15日導入
EL材料特性検討、EL素子の作製、ELプロセスの研究・開発・検証が
可能です。
本装置は、高真空雰囲気にて基板表面に有機材料および金属材料を
連続的に複数層蒸着させる装置です。
■ 特 徴
基板上に有機材料を替えるパターンと膜厚の違うパターンを形成出来ます。
■ 仕 様
・メーカー:日立造船株式会社製 ・作成基板サイズ:100×100mm
・有機材料蒸発源機構:6連式2式 ・金属材料蒸発源機構:3式
・アルカリ蒸発源機構:1式
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