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事例

XPS・AES複合機

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分析・解析 信頼性試験  /  鉄/非鉄金属 電子・半導体 試験・分析・測定

■概 要

 SEM/EDS分析では難しかった試料最表面数ナノメートルの厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能となります。

 

 

 

■特 徴

● 試料最表面の分析が可能(情報深さ0.5~6nm)

● XPS:有機・無機の表面分析/化学状態分析(X線)

● AES:無機の微小部(<100nm)元素分析(電子線)


実際の分析時と同じX線で励起された光電子像を用いるため、正確な分析位置の特定・確認を短時間で行なうことができます。

 

 

■事例紹介

《はんだ濡れ不良の解析例》
はんだが正常に濡れたものとはじきが見られたもので、表面の元素組成が異なっていることをXPSで確認。


その他の観察事例はこちらをご覧

下さい▼
XPS・AES解析事例および設備概要(PDF)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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