故障解析事例（アバランシェ破壊の再現実験）

パワーデバイスのスイッチング時には誘導負荷の高電圧によって、高エネルギーを得たキャリアがアバランシェ現象を引き起こし、熱的破壊に至る場合があります。 今回はアバランシェ破壊の実験環境を社内で構築し、再現実験を行いました。

試験前後を比較したところ、赤丸で示した箇所に変化が確認されました。 電気的特性の結果と併せて、この時点で破壊規模が比較的大きいことが分かりましたので、薬液開封により確認することにしました。

ボンディングワイヤの間に形成されたクレーターに注目し、断面観察と元素マッピングを行いました。その結果、内部に空洞が形成され、Al電極、はんだを溶かした様子が確認できました。