STEM分析法／TEM分析法

走査透過電子顕微鏡（STEM）はFIBなどで薄片化した試料に電子ビームを照射し、試料を透過してきた電子情報を捉え、原子・分子像を直接観察可能なレベルでの高倍率・高分解能観察が可能な装置です。

走査透過電子顕微鏡（TEM）は電子ビームを試料通過後に結像し、STEMは極小に絞った電子ビームを試料に照射することで、試料内部の原子像分布・形態・組成像・結晶構造などを画像化することが出来ます。

またEDS・EELS（Electron Energy Loss Spectroscopy）などの検出器を併用して分析電顕（AEM）としての機能を備え、組成・電子状態などを調べることができます｡