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3/28【セミナー】薄膜の力学的特性と 内部応力・密着性制御および測定・評価

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樹脂・ゴム、高分子、複合材料 表面・界面、接着、コーティング、表面加工 生産・製造施設、設備  / 2018年02月13日 /  電子・半導体 試験・分析・測定 光学機器
イベント名 薄膜の力学的特性と 内部応力・密着性制御および測定・評価
開催期間 2018年03月28日(水)
13:00~16:30
会場名 東京・大田区蒲田 大田区産業プラザ(PiO) 6F C会議室
会場の住所 東京都
地図 https://www.science-t.com/st/cont/id/16430
お申し込み期限日 2018年03月27日(火)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

★ 薄膜の応力に困っていませんか? 応力と上手に向き合う、理解する!
★ 薄膜の密着性を改善するには? 内部応力など機械的特性を基礎から学びます。
★ なかなか詳しく聞けない、さらっと学べない、スクラッチ試験も徹底解説いたします。

 

講師

 

 成蹊大学 名誉教授 馬場 茂 氏

 

 受講料(税込)

 

43,200円(本体40,000円+税3,200円)※資料付
キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の21,600円

 

 趣旨

 

  密着性を改善するためには、薄膜自体および界面の特性をよくすればよい。しかし、一足飛びに良質の膜をつくるのは難しい。また、密着性は破壊であり損傷機構によってもその臨界値は変わる。
 ある測定法で丈夫だった膜が、別の方法では早く破れることがある。でも、密着性と直接関係あるのは内部応力のような力学的性質一般である。
 このセミナーでは、力学的性質を通して、膜の壊れ方を学び、良質の膜をつくる技術を学ぶ。

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>
力学的性質の測定の仕方、密着性の測定法を学びます。
密着性の中でもとくにスクラッチ法について、そのエッセンスが身に付きます。

<プログラム>
1.膜内の応力(内部応力は剥離の原因)
 1.1 熱応力と真性応力
 1.2 応力とひずみ~固体薄膜の力学
 1.3 マクロな変形とStoneyの式
 1.4 ミクロな測定技術
    ~ラマン分光、薄膜X線回折(in line 測定)~
 1.5 内部応力を下げる方法(多層化、端面構造)
 1.7 結晶配向性にも影響する!
 1.8 硬さと靭性(どこまで耐えられるか?)
 1.9 超微小硬さ測定
   ~構造欠陥と硬さ~
 1.9 ハードコーティングは耐腐食性!

2.薄膜の密着性
 2.1 密着性とは(剥離損傷・耐久性・寿命)
 2.2 (機械的)密着性の測り方とそのポイント
     ピール、プル、スクラッチ、インデンテーション
     3点、4点曲げ試験
 2.3 故障解析からの密着性評価とワイブル分布
 2.4 密着性を改善する手段~特にプラズマ援用技術
 2.5 異種材料接合部の力学

3.スクラッチ試験 ~振動式マイクロスクラッチ試験~
 3.1 圧子荷重・せん断応力・界面エネルギー
 3.2 試験条件および再現性と信頼性
 3.3 スクラッチの物理と破壊力学・刺激部の深さ変化
 3.4 光学薄膜と振動式スクラッチ試験 JIS R3255
 3.5 他の密着性試験との相関(臨界損傷の違い)
 3.6 軟質膜および粘性膜への応用

4.窒化チタン膜の製膜技術の発展
 4.1 製膜技術と薄膜構造
 4.2 大電力スパッタリング技術

 

  □ 質疑応答 □

 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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