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7/20【セミナー】<Atomic Layer Deposition>ALD(原子層堆積法)の基礎・表面反応と高品質薄膜形成

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電気・電子・半導体・通信 表面科学:接着・コーティング 生産:製造プロセス・化学工学  / 2018年06月12日 /  化学・樹脂 電子・半導体 先端技術
イベント名 <Atomic Layer Deposition>ALD(原子層堆積法)の基礎・表面反応と高品質薄膜形成
開催期間 2018年07月20日(金)
13:00~16:30
会場名 東京・港区浜松町 芝エクセレントビル B1F KCDホール
会場の住所 東京都
地図 https://www.science-t.com/st/cont/id/20034
お申し込み期限日 2018年07月19日(木)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

 

★ 注目のALD(原子層堆積法)による高品質薄膜形成を表面反応メカニズムから解説します!
★ LSIの他、MEMS、太陽電池、機械部品、各種製品へのコーティングなどへの応用を見込むALDとは!

 

講師

 

山形大学 大学院理工学研究科 教授 廣瀬 文彦 氏

【経歴・研究内容・専門】
1992年3月 東北大学 大学院工学研究科 修了 博士(工学)
現在 山形大学 大学院理工学研究科 教授 
専門 半導体薄膜製造、界面制御太陽電池
主な研究 プラズマプロセスを用いた室温原子層堆積法の研究

 

 受講料(税込)

 

43,200円(本体40,000円+税3,200円)※資料付
キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の21,600円

 

 趣旨

 

 原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。
 山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として3D-CoolALD(室温三次元成膜ALD)による各種酸化物膜の室温形成技術について紹介いたします。

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>

吸着反応機構、表面酸化、モニタリング技術、プロセス調整を学ぶことが出来ます。

<プログラム> ※下記プログラムは仮です。
1.原子層堆積法の基礎
 1.1 原子層堆積法とは?
 1.2 原子層堆積の開発の歴史
 1.3 熱ALDとプラズマALD
 1.4 事例紹介

2.原子層堆積における表面反応機構
 2.1 原料分子の吸着反応 ~ラングミュア―型解離吸着~
 2.2 飽和吸着のモニタリング手法
 2.3 プリカーサーの選択
 2.4 吸着表面の酸化反応
 2.5 酸化種の選択
 2.6 酸化物表面と水の反応
 2.7 酸化物表面と水素脱離
 2.8 フォーミングアニールと界面層の問題
 2.9 不純物モニタリング法

3.山形大学開発3D-CoolALD(室温三次元成膜ALD)のご紹介
 3.1 SiO2の室温形成事例とペットボトル・アクリル樹脂コーティング
 3.2 生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
 3.3 Al2O3の室温形成事例と防蝕コーティング応用
 3.4 HfO2の室温形成事例

  □質疑応答・名刺交換□

 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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