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＠ｅｎｇｉｎｅｅｒ　企業プレスリリース 2008/03/05 最新の企業、製品、技術情報を入手しませんか？　メンバー登録（無料） 　 半導体製造工程の顕微鏡検査におけるさまざまなウェハの安定搬送を実現 LSI検査顕微鏡用ウェハローダNWL200シリーズの発売について 2008年3月5日 株式会社ニコン 株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、半導体製造工程の特に後工程分野で行われる目視によるマクロ検査や顕微鏡ミクロ検査において、薄型化するウェハを安全・確実に搬送するLSI検査顕微鏡用ウェハローダNWL200シリーズを2008年3月17日から発売します。 ●発売概要 商品名 LSI検査顕微鏡用ウェハローダNWL200シリーズ 価 格 オープンプライス 発売予定日 2008年3月17日 販売予定数 初年度150台 ●開発の背景 　LSI 検査顕微鏡用ウェハローダは、高密度化、多層化が進む最新のウェハ加工工程に対応して、人手に起因するウェハへの異物付着、摩擦や衝撃によって発生するゴミやキズなどを防ぐために、ウェハを安定的に顕微鏡まで搬送する装置です。ウェハの厚みは製造工程が進むにつれて薄くなるために、特に後工程分野における顕微鏡検査では、薄型化されたウェハの確実で、安全な搬送が求められてきています。また、ウェハの薄型化にともないエッジ部の欠けの発生が、歩留まりに影響することからウェハローダによる簡便なマクロ検査のニーズも増えています。 今回開発したウェハローダNWL200 シリーズは、薄型化するウェハの搬送能力向上と新機能の搭載により、目視によるマクロ検査と顕微鏡ミクロ検査の両方のニーズに対応した製品で、検査分野の効率化に貢献します。 ●主な特長 1.薄型ウェハの搬送能力を飛躍的に向上 　新開発の薄型対応搬送アームと新吸着方式の採用、およびウェハセンシング機能の向上などにより、従来機では搬送不可能であった厚さ100μmまでのウェハの安全・確実な搬送を実現しました。ウェハセンシングは、キャリア内のウェハのたわみ状態を正確に検出できるように配置最適化を図りました。厚さ200μm対応のφ200mm/φ150mm兼用タイプと厚さ100μm対応のφ200mm/φ150mm専用タイプの二種類を用意しています。 2.新機能を搭載し、顕微鏡用ウェハローダに求められるニーズに対応 　ウェハのエッジチッピング検出機能とRAT機能（リモートアクセスツール機能）を搭載。ウェハのエッジチッピング検出機能は、コンタクトイメージセンサー（CIS）により、ウェハのエッジ欠けを正確に検出します。RAT機能は、PC接続のインターネットエクスプローラ環境下で装置のセッティングや調整状態を容易に見ることができます。例えば薄型ウェハの装置セッティングなどもこの機能を使うことで簡単にできます。（エッジチッピング検出機能はオプション） 3.さまざまなウェハサイズに対応 　200mm、150mmウェハの混在ラインをはじめ、125mmウェハも含めた混在ラインにも１機種で対応できます。（200/150/125mm混在は、標準厚のウェハとなります） 4.操作性を向上してシンプルでわかりやすい操作 　従来機の大きくて見やすい液晶パネルに加え、ウェハスロットボタンによるダイレクトサンプリングを新たに追加しました。検査の自動化に効果的な検査パターンなどのファイル管理機能とウェハスロットボタンを使ったダイレクト操作の併用が可能です。 5.高機能マクロ検査と多彩な照明 　従来機の「NWL860TMB」で好評な高機能マクロ検査機能を継承しました。表面マクロ検査・裏面周辺マクロ検査・裏面中央マクロ検査を装備しています。照明もファイバー照明のほか、新たにLED照明による広範囲で、均質照明など用途に応じて最適な照明が選択できます。 ●主な仕様　　LSI検査顕微鏡用ウェハローダNWL200TMB 適合ウェハサイズ: 径：φ200mm／φ150mm 厚み（標準）：SEMI 標準厚み〜300μm 厚み（薄型オプション）：300〜100μm 　 適合キャリア: SEMI25（26）枚キャリア 　 センタリング: 非接触式、光電センサ 　 ノッチ・オリフラ: 非接触式、光電センサ 　 操作部: ウェハスロットボタン／LCD対話式 　 検査機能: 顕微鏡検査、表面マクロ検査 裏面周辺マクロ検査、裏面中央マクロ検査 　（ウェハ厚100μm 対応の機種では裏面マクロ検査は不可） 　 外形寸法（W×D×H）（mm）: 535×626×350 　 質量（kg）: 50kg 　 安全規格: 電気安全：CEマーキング適合 SEMI：S2-0706、S8-0307、F47適合 レーザ安全：FDAクラス1 取得 　 ユーティリティ: 電源：AC100〜240V、50/60Hz、1.5A〜0.7A 真空：-80kPa 接続チューブ径：φ6mm LSI 検査顕微鏡用ウェハローダNWL200 シリーズ （LSI 検査顕微鏡「ECLIPSE L200」との組み合わせ例） ページトップへ戻る ▲企業プレスリリース一覧へ プレスリリースの内容に関するご質問への回答は、＠engineerでは対応いたしかねます。 掲載各社に直接お問い合わせ頂きますようお願いいたします。 ■企業プレスリリース掲載ご希望の企業の方は、こちらから必要事項をご記入の上お問い合わせください。 ■「企業検索に登録［無料］」ご希望の企業の方は、こちらから必要事項を記入の上ご登録ください。 ここに掲載している全ての情報を無断転載することを禁じます。掲載情報の著作権は、＠engineer又は情報掲載者に帰属します。