No.0135　2005年3月17日
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┃●┃　ナノから環境分析まで。さまざまな化学分析・EMI測定に対応
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ナノの世界から環境分析まで、幅広い知識と高度なテクノロジーでさまざま
な化学分析・EMI測定に対応する会社がセイコーアイ・テクノリサーチ（株）
です。同社はセイコーインスツル（株）の研究開発部として、時計・電子機
器・分析機器等の分析、評価、解析を担当。1986年に分離独立した会社です。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　　ナノ領域に最新装置と技術で対応。FIB加工とSPMに特徴・強み
　　　　　　　　　「セイコーアイ・テクノリサーチ」

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■ミクロの世界から環境分析まで幅広く
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マイクロ・ナノ加工、微小領域部の観察、故障解析、有害物測定、表面分析、
作業環境測定等、さまざまなニーズに高度なテクノロジーで対応する同社。

たとえば、機器分析では、高度な最新鋭装置を駆使。表面分析、素材解析、
像観察、有機分析、故障解析などを行います。ガリウムイオンを用いた集束
イオンビーム（FIB）加工では、IC内の配線変更やパッド作成、断面観察、
微細加工を実施。

環境分析では、公害関係法令に基づく工場排水、大気、土壌、産業廃棄物な
どを分析。労働衛生関係法令に基づく作業環境測定、上水分析、ビル環境測
定等も高精度に分析します。

EMI測定試験では、EMIを測定し、各国の規制値を満足しているか評価を行う
ほか、正式測定レポートの発行、EMI対策指導なども要望に応じて行います。



■分析の精度の高さを実証する最新装置
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特にナノ領域業務においては、最新の装置が必要。主要設備としては、集束
イオンビーム装置、二次イオン質量分析装置、オージェ電子分光分析装置、
X線マイクロアナライザー、走査型プローブ顕微鏡ほか、用途に合わせた装
置を完備しています。

単なる分析に終わらず、故障解析などの技術コンサルティングを行い、問題
解決に向け真摯に取り組んでいます。



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info@atengineer.com

－－－＜ミニ用語辞典＞－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
◇SPM　とは
SPMとは Scaninng Probe Microscopeの略。走査型プローブ顕微鏡とも呼ば
れる。プローブ・試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面
形状や物性を測定する顕微鏡の総称。

◇FIB加工　とは
FIBとはFocused Ion Beam  の省略。集束イオンビームによる微細機械加工。
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