No.156　2005年7月11日
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┃●┃高速演算、高精度位置決めが可能なＰＬＣが必要な方へ
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昨今の生産設備では、ますます高精度／高速な位置決め制御が必要となっ
ております。今回は、半導体関連に多くの実績のあるプログラマブルコン
トローラー（ＰＬＣ）のご紹介をさせていただきますが、他業界での活用
も増えているようです。
高精度／高速な位置決め制御にご興味ある方は、ご検討されてみてはいか
がでしょうか。

※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　最大５Ｍｐｐｓ 高速起動０.１５ｍｓ  ラダーレス即時応答
　　　　　　高精度、高速処理に強い横河電機製「ＰＬＣ」
　　　　
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■最大5Mpps 高速起動0.15ms  ラダーレス即時応答
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横河電機株式会社のＰＬＣには、位置制御・速度制御・インデックス制御
などに最適な位置決め実現するモジュールが提供されています。

１モジュールで最大４軸の位置決め制御が可能で、入力／出力パルスレー
トは最大５Ｍｂｐｓ、１軸起動で０.１５ｍｓ、４軸直線補完、２軸円弧
補完でも０.５ｍｓ以下の起動時間で応答可能です。

特に、高速演算／高精度位置制御に必要な半導体生産設備等のＰＬＣとし
て多く利用されています。


■横河電機ＰＬＣ位置決めモジュールが活躍するシーン（事例）
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＜半導体関連装置＞
チップ抵抗のトリミング装置は、レーザで余分な抵抗部分をカットする装
置で、ミクロン精度の位置決め制御と高速処理が必要です。同社ＰＬＣで
は、トリプルプロセッサにより、２０Ｋステップ／１ｍｓの高速プログラ
ム処理を実現し半導体装置での位置決め要求に対応しています。
また、以下のナノステージ、リニアモータの制御にも採用されています。
ナノステージ（分解能：0.1μm、最大速度：0.5m/s、横河電機製）
リニアモータ（分解能：1.0μm、最大速度：2.0m/s、横河電機製）


＜自動平面研磨装置＞
研磨ヘッドをワークに押付けるＺ軸と、Ｘ／Ｙ方向に移動させる軸を制御
する自働研磨装置での事例です。
研磨面の仕上がりを良くするには、一定の力で押付けながら各動作ポイン
トで止まらずに研磨を行う必要があります。同社ＰＬＣでは、多軸補間に
よるパス動作が可能なため、各動作ポイントで止まらずに研磨を行うこと
が可能です。


ハード面だけではなく、パラメータ設定とデバッグ機能をもつソフトウェ
アツール「ToolBox」もあり、ラダープログラムを作成しなくても、複雑
な位置決め動作が可能とのこと。高精度、高速の位置決め制御が必要な方
は、横河電機ＰＬＣを検討されてみてはいかがでしょうか。


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