No.194　2005年11月21日
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┃●┃ 世界の先端を行く分析企業による各種表面分析。
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今回ご紹介するナノサイエンス株式会社は、米国チャールズ・エバンス＆ア
ソシエイツ社、エバンスイースト社を初めとするエバンスアナリティカルグ
ループ(EAG)、シバテクノロジー社(Shiva)、フルウエハアナリシス社(FWA)
等の、日本における代理店として各種表面分析受託サービスを提供します。
提携分析機関も単なる表面分析の受託にとどまらず、最先端技術の開発・改
良など、世界の先端を行く分析リーダー達です。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　　　　　表面分析に特化。新分析手法LEXESにも対応！
　　　　　SIMS、GDMSなど各種表面分析受託サービスをご提供！

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＞＞＞日本初のLEXES分析にも対応
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フルウエハアナリシス社との日本総代理店契約により、日本初の分析サービ
スであるLEXES(低エネルギーX線分析)にも対応。１％以下の精度で分析可能
が高精度な分析手法なため、面内均一性の評価や試料間比較に最適です。
Ｏ、Ｃ、Ｎなどの軽元素も定量でき、新たな分析手法のひとつとして、注目
を集めております。

◆LEXES とは
Low Energy X-ray Emissions Spectrometryの略語。低エネルギーX線分析を
指す。低エネルギーな電子線照射により、試料表面から放出される特性X線
を検出する手法。数nmから数百nmの深さ情報を得ることができる。


＞＞＞全元素の分析が可能なSIMS
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表面分析に関しては、世界のリーディングカンパニーであるエバンスアナリ
ティカルグループと提携。その経験と実績をもとにSIMS(二次イオン質量分
析)を中心とする表面分析に特化したサービスを提供します。

SIMSの分野では、マトリックス元素から極微量不純物まで、検出濃度範囲が
広く標準試料を用いての定量分析可能。12台のセクターSIMS、5台のQ-pole
装置を保有し、材料毎に区分された高感度SIMS装置による分析を行います。
標準試料の種類も豊富で、ニーズに応じて新しい標準試料を作成するほかに
標準試料の販売も行っています。

◆SIMS とは
Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer(あるいはSpectrometry)の略
語。二次イオン質量分析法を指す。


＞＞＞GDMS(グロー放電質量分析法)
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同社では、シバテクノロジー社とも提携。シバテクノロジー社は世界で実施
されるGDMS(グロー放電質量分析)の70%を行っており、GDMS分析による金属、
絶縁材、半導体材料の不純物分析を手掛けています。粉体、インゴット、ワ
イヤー状などのあらゆる試料形状に対応出来ます。
また、Li～Uまでの元素についてppb～％のバルク分析が可能です。

◆GDMS とは
Glow Discharge Mass Spectrometryの略語。グロー放電質量分析を指す。固
体試料を陰極としグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中
性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させる。


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