No.241　2006年3月13日
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┃●┃ 表面分析に特化。SIMS、GDMS、LEXES分析法にも対応！
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今回ご紹介するナノサイエンス（株）は、米国内外の優れた表面分析技術を
持つ企業と連携。最先端技術の開発・改良など世界の分析サービスをリード
する分析会社と提携して、日本における代理店として各種表面分析受託サー
ビスを提供しています。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　SIMS、GDMS、LEXESほか、各種表面分析受託サービスに対応！
　　　　米国内外の優れた表面分析企業と連携「ナノサイエンス」

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■全元素の分析が可能なSIMS(二次イオン質量分析)
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表面分析に関しては、世界のリーディングカンパニーであるエバンスアナリ
ティカルグループと提携。その経験と実績をもとにSIMS(二次イオン質量分
析)を中心とする表面分析に特化したサービスを提供します。

SIMSの分野では、マトリックス元素から極微量不純物まで、検出濃度範囲が
広く標準試料を用いての定量分析可能。12台のセクターSIMS、5台のQ-pole
装置を保有し、材料毎に区分された高感度SIMS装置による分析を行います。
標準試料の種類も豊富。ニーズに応じて新しい標準試料を作成するほか、標
準試料の販売も行っています。


■半導体材料・絶縁物材料の測定も可能なGDMS(グロー放電質量分析)
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同社では、シバテクノロジー社とも提携。シバテクノロジー社は世界で実施
されるGDMS(グロー放電質量分析)の70%を行っており、GDMS分析による金属、
絶縁材、半導体材料の不純物分析を手掛けています。粉体、インゴット、ワ
イヤー状などのあらゆる試料形状に対応し、Li～Uまでの元素についてppb～
％のバルク分析が可能です。また、マトリックス効果が小さく、標準試料が
ない場合でも、定量に近い半定量分析がおこなえます。

■小さな試料から300mmウエハサイズまで対応できる非破壊分析手法
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フル・ウエハー・アナリシス(FWA)社による分析サービスであるLEXES(低エ
ネルギーX線分析)にも対応。1％以下の精度で分析可能な高精度な分析手法
なため、面内均一性の評価や試料間比較に最適です。
Ｏ、Ｃ、Ｎなどの軽元素の定量が可能で、新たな分析手法のひとつとして、
注目を集めています。



－－－＜ミニ用語辞典＞－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
◇SIMS とは
Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer(あるいはSpectrometry)の略
語。二次イオン質量分析法を指す。

◇GDMS とは
Glow Discharge Mass Spectrometryの略語。グロー放電質量分析を指す。固
体試料を陰極としグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中
性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させる。

◇LEXES とは
Low Energy X-ray Emissions Spectrometryの略語。低エネルギーX線分析を
指す。低エネルギーな電子線照射により、試料表面から放出される特性X線
を検出する手法。数nmから数百nmの深さ情報を得ることができる。

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