No.325　2006年10月3日
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┃●┃ 表面分析に特化。SIMS、GDMS、新分析手法LEXESにも対応！
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今回ご紹介するナノサイエンス(株)は、米国内外にて優れた表面分析技術を
持つ企業と連携。高度な分析・解析評価技術を用いた受託分析サービスを行
う専門商社です。提携分析機関も単なる表面分析の受託にとどまらず、最先
端技術の開発・改良など、世界の先端を行く分析リーダー達。精度が高く、
より専門的な表面分析に応えてくれる頼もしい存在と言えそうです。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

    SIMS、GDMS、LEXESほか、各種表面分析受託サービスに対応！
      米国内外の優れた表面分析企業と連携「ナノサイエンス」

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■全元素の分析が可能なSIMS(二次イオン質量分析)
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表面分析に関しては、世界のリーディングカンパニーであるエバンスアナリ
ティカルグループと提携。その経験と実績をもとにSIMS(二次イオン質量分
析)を中心とする表面分析に特化したサービスを提供します。

SIMSの分野では、マトリックス元素から極微量不純物まで、検出濃度範囲が
広く標準試料を用いての定量分析可能。12台のセクターSIMS、5台のQ-pole
装置を保有し、材料毎に区分された高感度SIMS装置による分析を行います。
標準試料の種類も豊富。ニーズに応じて新しい標準試料を作成するほか、標
準試料の販売も行っています。


■半導体材料・絶縁物材料の測定も可能なGDMS(グロー放電質量分析)
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同社では、シバテクノロジー社とも提携。シバテクノロジー社は世界で実施
されるGDMS(グロー放電質量分析)の70%を行っており、GDMS分析による金属、
絶縁材、半導体材料の不純物分析を手掛けています。粉体、インゴット、ワ
イヤー状などのあらゆる試料形状に対応し、Li～Uまでの元素についてppb～
％のバルク分析が可能です。また、マトリックス効果が小さく、標準試料が
ない場合でも、定量に近い半定量分析がおこなえます。


■小さな試料から300mmウエハサイズまで対応できる非破壊分析手法
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フル・ウエハー・アナリシス(FWA)社による分析サービスであるLEXES(低エ
ネルギーX線分析)にも対応。1％以下の精度で分析可能な高精度な分析手法
なため、面内均一性の評価や試料間比較に最適です。
Ｏ、Ｃ、Ｎなどの軽元素も定量でき、新たな分析手法のひとつとして、注目
を集めています。



－－－＜ミニ用語辞典＞－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
◇SIMS とは
Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer(あるいはSpectrometry)の略
語。二次イオン質量分析法を指す。

◇GDMS とは
Glow Discharge Mass Spectrometryの略語。グロー放電質量分析を指す。固
体試料を陰極としグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中
性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させる。

◇LEXES とは
Low Energy X-ray Emissions Spectrometryの略語。低エネルギーX線分析を
指す。低エネルギーな電子線照射により、試料表面から放出される特性X線
を検出する手法。数nmから数百nmの深さ情報を得ることができる。

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