No.372　2007年2月13日
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┃●┃ 高度な分析・解析評価技術を用いた最先端の受託分析サービス
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今回ご紹介するナノサイエンス(株)様は、各種表面分析受託サービスを提供
する専門商社として、お客様からのあらゆる要望に、ご提案・アドバイスは
もとより、的確なサポートでお応えしています。同社は昨年末、提携を結ん
でいた、表面分析技術に優れた技術を有する米国ＥＡＧ社の傘下に入ること
が決定。ＥＡＧ「日本法人」として、今後も国内のお客様に必要な分析サー
ビスをご提供していきます。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　各種表面分析受託サービスの専門商社「ナノサイエンス」が
　　　　ＥＡＧの日本法人として、よりグローバルな事業に期待

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■表面分析受託分析サービスのエキスパートが、さらなる飛躍を目指す

ナノサイエンスの親会社ＥＡＧ（エバンス・アナリティカル・グループ）は、
1978年、ＳＩＭＳ分析を主軸とした表面分析サービスをスタート。以来、分
析サービスを拡充し続け、表面分析の世界的リーダーとして評価されていま
す。2006年には、Ｘ線分析（Ｘ線回折法やＸ線反射法）、ＴＥＭ分析を取得。
イオン、電子、Ｘ線による、表面分析全体のご提供が可能になりました。

また、同社が総代理店として業務を行なってきましたSHIVA TECHNOLOGIES社
（シバ・テクノロジーズ）も、ＥＡＧの傘下に加わったことで、ＧＤＭＳ、
ＩＣＰなどの素材分析もさらに充実。今後は米国を中心として、ヨーロッパ、
アジア、日本のネットワーク網もさらに拡充し、ワールドワイドな分析サー
ビスの展開すると同時に、同社は「お客様と真摯に向き合い、お客様のニー
ズをしっかりと把握すること」をポリシーとして、今後も分析サービス業に
専念していきます。


■ナノサイエンスの主な表面分析受託サービス

１：ＳＩＭＳ
（Secondary Ion-microprobe Mass Spectromete(あるいはSpectrometry)）


○主な特長～高感度分析。深さ方向分析。全元素の分析が可能です。

マトリックス元素から極微量不純物まで、検出濃度範囲が広い／ＳＩＭ用標
準試料を用いての定量分析が可能／全元素の検出が可能／同位体の測定が可
能／：10数オングストローム～数10μｍまで測定できる膜厚範囲が広いなど

２：ＧＤＭＳ（Glow Discharge Mass Spectrometry）

○主な特長～固体試料を陰極としグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、
放出された中性粒子をプラズマ内のＡｒや電子との衝突によってイオン化さ
せる。

Li～Uまでの元素についてppb～％のバルク分析が可能／マトリックス効果が
小さく、標準試料がない場合でも定量に近い半定量分析ができる／粉体、ブ
ロック体、薄膜、ワイヤー状など、あらゆる形態の試料も補助電極を用いる
ことで測定が可能／金属材料だけでなく、補助材料を用いる事で半導体材料
・絶縁物材料の測定も可能に

３：ＬＥＸＥＳ（Low Energy X-ray Emissions Spectrometry）

○主な特長～フル・ウエハー・アナリシス（ＦＷＡ）社による分析サービス。
低エネルギーＸ線分析のこと。低エネルギーの電子線の照射により、試料表
面から放出される特性Ｘ線を検出する手法。数nmから数百nmの深さ情報を得
ることができる。


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