No.387　2007年4月2日
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┃●┃ナノフォーカスＸ線ＣＴ、Ｘ線顕微検査装置が高解像度データを実現
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今回は、受託にて高密度製品の非破壊検査を行っている東研Ｘ線検査株式会
社様をご紹介します。同社は、関連会社「株式会社　東研」が独自に開発し
た微小焦点Ｘ線源搭載のナノフォーカスＸ線ＣＴと、Ｘ線顕微検査装置を使
用。従来の機器ではわからなかった半導体やプリント基板の不具合発見、電
子顕微鏡での破壊検査前の微細な構造確認などを行い、お客様に高解像度の
データを提供しています。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※
　　
　　世界に誇る高性能検査装置にて行う半導体・結晶等のＸ線構造解析
　　　　　製品の微細な不具合までナノレベルで厳しくチェック

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┃●┃独自開発の先端機器が可能にした半導体やプリント基板の検査・試験
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東研Ｘ線検査株式会社では、このような検査・試験を受託しています。

(1)ナノフォーカスＸ線ＣＴ
繊維、樹脂化合物、カーボン、ガラスファイバー、小型電子部品の断面検査
・３Ｄ映像などに適しています。

(2)Ｘ線顕微検査装置
ＢＧＡ・ＣＳＰのボイド・クラック、ワイヤーのクラック・剥離、貫通電極
のボイドなどに適しています。

(3)Ｘ線ＣＴ装置
　具体例
　１：カーボン、ガラス繊維、多孔材料の構造を断面と3Ｄで観察
　２：樹脂材料内フィラーの分布状況観察
　３：生体試料（骨・歯・毛髪）の構造観察

(4)加熱装置
　具体例
　１：溶融ハンダ内部のボイド発


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┃●┃製品の詳細なチェックを可能にする、個性的な非破壊検査機器
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微細な構造解析に適したナノフォーカスＸ線ＣＴ検査装置（非破壊）、Ｘ線

顕微検査装置（非破壊）を中心に、小型電子部品の不良解析に適したオプシ
ョンＣＴ、大型の実装基板にも対応できる傾斜ＣＴといった多彩なＸ線ＣＴ
装置で、お客様のあらゆる要望にお応えします。

○各製品の主な特長

(1)ナノフォーカスＸ線ＣＴ装置
超微小焦点のＸ線源・高精度ステージ・高密度Ｘ線検出器を採用。ナノレベ
ルの検査を実現し、高密度材料の構造解析が可能に。

(2)Ｘ線顕微検査装置
高輝度・微小焦点のＸ線源を搭載。従来コントラストのつかなかった軽素材、
高分解能を必要する構造物の撮像が可能。

(3)Ｘ線ＣＴ装置
Ｘ線顕微検査装置にマニピュレータユニットとＣＴソフトを追加することに
よって、ＣＴ撮像を手軽に行える。断面と立体構造の確認も可能。

(4)加熱装置
任意に設定したプロファイルにより、加熱しながらのＸ線撮像が可能に。ハ
ンダボール内のボイド発生過程や部品の熟変形をライブ画像で観察できる。

(5)Ｘ線顕微検査装置
新開発のＸ線源にショットキーエミッターとＦＥ型電子銃を搭載。焦点サイ
ズ0.1umの極小化を実現。

(6)Ｘ線顕微検査装置
400×400mmの大型実装基板をカットせず、実装部品に最大60度の傾斜をつけ
て観察することが可能。

(7)傾斜Ｘ線ＣＴ装置
大型基板をカットせずに、透過像では確認できなかった断面及び３Ｄ画像で、
実装部分の不良解析を行うことができる。