No.475　2007年9月13日
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┃●渦電流センサー、静電容量センサーとピエゾを使った位置決め装置
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本日は、ナノレベルの微細技術で作動する装置やセンサーなどのデバイス製
品を半導体メーカーや研究施設に提供している翔栄システム株式会社様をご
紹介します。

同社のセンサは、スピンドル解析、ナノメーターポジショニング、精密寸法
計測、動的変位の計測、移動・動作・変位の検出、振動計測に応用されてい
ます。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　　　　　40年の実績と経験に培われたノウハウ
　　　　　　ピエゾを使った位置決め装置ならおまかせ

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■長い年月の経験と実績が選んだ、各種高性能センサー・システム
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変位センサーは、検出体がある位置から別の位置へ移動したとき、その微少
移動量（変位量）を測定する機器です。変位量を知ることで、検出体の高さ、
厚みなどの寸法測定にも利用することができます。同社では静電容量センサ
渦電流センサを扱っており、カスタマイズも承っています。

１：高性能静電容量センサーシステムの特長

高性能なEliteシリーズセンサー（Lion Precision社）を取り扱っています。
NI社のDAQインターフェースカード接続により、ユーザーの仕様にあったシス
テムを構築することが可能です。

１）最高8チャンネルのセンサアンプを駆動可能
２）NI社のLabViewインターフェースによってセンサーのTEDS機能が使用可
３）センサーアンプ以外に温度センサ、信号処理／モジュールも駆動可能


２：渦電流センサの特長

高い応答周波数が特徴。金属の測定対象のみに反応します（ただし金属の
ターゲットとプローブ間に非金属があってもかまいません）。測定レンジが
広くとれ、湿度、埃、油等に影響されにくいのも特徴です。


■日本の大手メーカー、有名大学も信頼を寄せる高性能ピエゾ・ステージ
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また同社では「ピエゾステージ」「ロングピエゾステージ」も扱っています。
本機器に使われるピエゾ素子の原理は、物質に電気を流すと変形する特性を
持つ物質を使用し、スイッチなどに使うというもの。変位を利用して弁の開
閉、スイッチのオン・オフ、微細加工ＮＣの動力、微小質量を検出するため
のセンサーなどに用いられています。

世界最高の変位センサーとピエゾ素子を応用しており、特にピエゾを使った
位置決め装置には定評があります。石川島播磨重工業、キヤノン株式会社と
いった大手企業や、東京大学、京都大学をはじめとする国立大学や研究機関
での利用実績も豊富です。


デモ機の貸出しも行っておりますので、ぜひご評価ください。またカスタマ
イズをはじめ、製造・メンテナンスなどのサポート体制も充実しています。


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