No.502　2007年10月26日
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┃●ＦＩＢ（集束イオンビーム）を利用したナノレベルの精密加工
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本日は、ナノレベルの世界から環境分析まで、高機能機器と厳密な分析力で
分析・試験から問題解決のサポートまでを行っている、セイコーアイ・テク
ノリサーチ株式会社様をご紹介いたします。

※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　　　最新のFIB（集束イオンビーム）装置を使用した
　　　ICの配線修正、TEM観察用試料作製などナノレベルの加工

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■ＩＣの配線修正、断面加工・観察、ＴＥＭ観察用試料作製まで
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集束イオンビームとはイオンを電磁気力によってビーム状に絞ったもので、
このビームを使って加工や組成分析を行います。イオンビームにより試料表
面の原子をはじきとばして試料を削ったり、発生した二次電子などを検出し
て顕微鏡像を観察することが可能です。エッチング・蒸着にも利用されます。

同社では最新のガリウムイオンを用いたＦＩＢ（集束イオンビーム）を利用
し、ナノレベルの精度で加工を行います。IC配線の接続・切断、評価用テス
トパッドの作成やマイクロ部品の加工、ＴＥＭ観察用試料作製が可能です。


■ＥＭＩ測定試験や計測器の校正、環境分析の受託サービスも実施
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同社では集束イオンビーム加工関連の他にも各種の分析受託サービスを行っ
ています。

１）ＥＭＩ測定試験
電子機器（情報技術装置等）から放射される不要電磁波（ＥＭＩ）を測定。
VCCI（日本の自主規制規格）、FCC（アメリカ）、EN（ヨーロッパ）のクラ
スA、クラスBに対応した測定レポートを発行します。ご希望によりノイズ対
策支援も行います。

２）計測器校正
ISO9000認証取得支援やノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ等の機械
系計測器や、パルスジェネレータ、オシロスコープ等の電気系計測器の点検
します。

３）環境分析
環境関係法令に基づく、工場排水分析、大気分析、地質汚染調査、産業廃棄
物分析を行います。労働衛生関係法令に基づく作業環境測定、上水分析、ビ
ル環境測定などを高精度に行います。


分析・試験についてどのような内容でもお気軽に問い合せください。ご相談
の内容はすべて極秘扱いにいたします。即日対応などお急ぎの案件にも対応
いたします。立会い分析や故障解析等の技術コンサルティングもご相談くだ
さい。


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