No.531　2007年12月7日
┏━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
┃●試料表面の微細部分を正確に表現！リアルカラー共焦点顕微鏡
┗━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

本日は、半導体関連欠陥検査装置、位相シフト量測定装置、ＬＣＤ関連欠陥
検査・修正装置、走査型レーザー顕微鏡などの製造販売を行っているレーザ
ーテック株式会社様をご紹介します。

同社は半導体製造に不可欠なフォトマスクの欠陥検査装置や、レーザー顕微
鏡など、高付加価値の商品を世界に先駆けて開発提供してきました。今回は
その中でも「共焦点顕微鏡」をピックアップいたします。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　　　試料表面の微細部分の色・形状を正確に再現！
　　１３１万画素の高精細画像で観察・計測できる共焦点顕微鏡

※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※


■観察時のぼやけ、色にじみや色の合成が不要なオプテリクス Ｃ130
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
「共焦点（コンフォーカル）顕微鏡」は光学顕微鏡の一種で、試料表面の形
状の測定や試料の３次元イメージングが可能であるという特長を持っていま
す。また全面に焦点の合った画像を得ることができ、コントラスト比の高い
鮮明な像を見ることができます。

その中でもリアルカラーコンフォーカル顕微鏡「オプテリクス　Ｃ130」は、
色にじみが無いリアルカラーを実現できる『業界初』の共焦点顕微鏡です。

カラーフィルターの形状測定や液晶用フォトスペーサーの高さ測定、顔料・
金属材料、マイクロマシンの観察・測定といった用途の各種測定・観察に力
を発揮しています。

○主な特長

１：キセノンランプを用いた白色照明によるコンフォーカル画像を取り込む
　　ので、色にじみが無いリアルカラーの高精細画像を観察できる。
２：広い波長域から試料に合わせて最適な波長を選択。線幅測定、高さ測定、
　　形状測定、粗さ測定など各種の測定が可能。
３：最高毎秒85フレームの速さで画像の取り込み可能。当社従来機より更に
　　高速に試料表面の三次元構造が測定できる。
４：非常にコンパクト軽量。持ち運ぶことが可能である。また、床振動に強
　　く設置場所を選ばない。


■５種類の波長を使い分けて、計測領域を拡大するオプテリクス Ｓ130
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
同社の製品をもうひとつご紹介します。ファイブ ライン コンフォーカル顕
微鏡「オプテリクス　Ｓ130」は、５種類の波長（405nm、436nm、546nm、
577nm、630nm）からサンプル、目的に合わせて波長を選択、測定できる共焦
点顕微鏡です。

フィルム、ガラス、高分子など各種材料の表面と内部情報の観察や測定、
ＭＥＭＳの形状測定 、半導体パターンの計測や液晶関連の高さ測定 といっ
た用途の各種測定・観察に最適です。

○主な特長

１：単一波長のレーザー顕微鏡では困難であった、パソコン、プリンタなど
　　に多く使われる電子部品や液晶パネル、フィルム、高分子材料など、多
　　層構造サンプルの表層や下層の両方を観察、測定が可能に。
２：照明光の波長を切り替えることで、複雑な形状を持つ試料の観察・測定
　　を行うことができる。


画像サンプルも多数ご用意してはおりますが、やはりその実力は、ご自身の
目で確かめていただくのが一番です。同社では、サンプルをいただければ、
サンプル測定いたします。またデモも可能です。


──────────────────────────────────
御社の製品／技術情報をネット上でアピールしませんか？
効果的な営業・広報・マーケティングのツールです
http://www.atengineer.com/gt/service/promotion
──────────────────────────────────