No.600　2008年4月2日
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┃●0.4ミクロン超微小焦点　高分解能・高輝度・高倍率のX線検査装置
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非破壊で電子部品の不良解析を行いたいが装置の導入が難しいとあきらめて
いませんでしたか。

本日ご紹介する東研X線検査株式会社様はナノフォーカスX線CT及びX線顕微
検査装置による非破壊検査受託サービスを行っています。

X線を使って透過撮像を行うため、従来の機器ではわからなかった半導体や
プリント基板の不具合発見や電子部品の構造確認がリアルタイムに近い状態
で行えます。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス！ 】※※※※※※※※※※※

　　　1ミクロン以下の焦点サイズと高輝度のX線顕微検査装置
　　　　　ユニットの組み合わせでCT撮像や加熱撮像も可能に

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■0.4umの焦点サイズと高輝度のX線顕微検査装置
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同社が開発した、世界で初めて1ミクロン以下の焦点サイズを実現したX線顕
微検査装置「TUX-3000W」は高輝度・微小焦点のX線源搭載し、従来コントラ
ストのつかなかった軽素材や、高分解能を必要する構造物の撮像が可能です。

幾何倍率は1,500倍（モニター上 6,000倍）。高輝度X線源を搭載している
ため低電圧でも高解像度・高コントラストの画像を撮ることができます。

例えば、これまでは管電圧をあげることで内部構造が撮像できなかった積層
セラミックコンデンサの電極やウエハーの貫通電極も効率よく検査・分析を
行えます。

検査に影響を及ぼす装置周辺の振動は標準装備の防震器がカットするため、
安定した環境で正確な内部検査が可能となります。


■ハンダペースト内のボイド発生過程をX線ライブ映像で観察
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この「TUX-3000W」に加熱ユニットを組み合わせると溶融ハンダ内部のボイ
ド発生過程や電子部品の熱変形をライブ画像で観察が可能です。

プロファイルに沿って加熱しながら、時間経過による試料の内部変化をライ
ブで観察することができます。最大試料サイズ：50×50×3mmです。

ハンダボール内のボイド発生や自動車用部品の熱変形の観察に、新たな検査
方法としても注目されています。


他にもマニピュレータユニットとCTソフトを追加すると、手軽にCT撮像もで
きるようになります。透過画像に加えて断面と立体構造も確認いただけます。

自社で装置を購入せずに不良解析を行いたい、とお考えでしたらぜひ一度同
社に問い合わせてみてはいかがでしょうか。


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