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No.613 2008年4月21日 ┏━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ┃●ウエハーφ300mmに対応した大型ターゲットの供給が可能な専門商社 ┗━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 半導体、LCDディスプレイ、光記録・光磁気記録用ディスク、センサ-、磁 気ディスク、機能性ガラス、超伝導など、薄膜形成が施された商品は様々な 分野で使用されています。その薄膜形成に欠かせないのが「スパッタリング ターゲット」です。 本日ご紹介する菱光産業株式会社様は、記録メディアをはじめとする高集積 化・微細化が進む半導体デバイスの各種成膜のために、高い技術・高品質の スパッタリングターゲットを供給しています。 ※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス! 】※※※※※※※※※※※ 大口径化(φ300mm)に対応した半導体用大型ターゲット 非鉄材・硬脆材料の加工に最適なダイヤモンドコーティングドリル ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ■高集積化・微細化に対応し、各種成膜できるターゲット  ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ 同社の特徴は高純度・低パーティクルの大口径化(φ300mm)に対応した大 型ターゲットの供給も可能な点です。 例えばシリサイドターゲットは超微細組織品でパーティクルを極端に低減。 還元法でガス成分を含む不純物を除去できます。 また誘電体材料(高誘電体、強誘電体)は、その電極材も含め、MOCVD材、 ゾルゲル液と合わせ、各種薄膜形成方法に最適の材料を総合的に供給します。 「相変化材料」に関する技術を生かした、次世代の不揮発性相変化メモリー 用材料の展開にも注力しています。 ■非鉄材料・硬脆材料の加工に最適なダイヤモンドコーティングドリル  ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ 他にも同社では独自のダイヤモンドコーティングを適用した非鉄材・硬脆材 料の加工に最適なドリルシリーズも提供しています。 硬脆材加工用ドリルとしてDC-BSS(※受注生産品となります)があります。 例えば被削材がサファイアの場合、送り速度2mm/分で穴深さ0.85mm(止ま り)で23穴加工可能です。これは従来の電着ダイヤモンド工具では加工がで きませんでした。 工具の剛性を重視した特許取得済みの先端形状を採用し、従来ドリルでは加 工不可能であった非鉄材の加工が行えます。 非鉄材加工用ドリルとして、DC-SSS、DC-SSMを標準在庫品として提供してい ます。高シリコンアルミニウム合金、グラファイト、マシナブルセラミック スなどの加工に最適です。 超硬ドリルに比べて減径摩耗が少なく、寿命は10年以上も可能。穴加工の寸 法も安定しています。 同社では素材や原料を仕入れて提供するだけでなく、加工から試作品の提供 やご提案・商品をコーディネートも行っています。 専門商社ならではの商品知識と提案力、豊かなアイディア力で、お客様 をサポートさせていただきます。商品に関するご質問・ご相談を承っており ますので、お気軽にお問い合わせください。 ────────────────────────────────── ツネイシホールディングス(株)様が語る「攻め」のグループ経営 先着80名様無料ご招待 業務プロセス再構築と見える化のポイントも http://www.oracle.co.jp/JSV/Prom?p=9C4281223F16B6AB ────────────────────────────────── 御社の製品/技術情報をネット上でアピールしませんか? 効果的な営業・広報・マーケティングのツールです http://www.atengineer.com/gt/service/promotion ────────────────────────────────── |