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No.635 2008年5月26日
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┃●FIB(集束イオンビーム)を利用したナノレベルの精密加工
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本日は、高機能機器と厳密な分析力で、ナノレベルの世界から環境分析まで、
幅広く問題解決のサポートを行っている、セイコーアイ・テクノリサーチ株
式会社様をご紹介いたします。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス! 】※※※※※※※※※※※

  FIB(集束イオンビーム)装置を使用したナノレベルの加工
      機器分析や環境分析、EMI測定試験も実施

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■ICの配線修正、断面加工・観察、TEM観察用試料作製まで
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集束イオンビームとはイオンを電磁気力によってビーム状に絞ったもので、
このビームを使って加工や組成分析を行います。イオンビームにより試料表
面の原子をはじきとばして試料を削ったり、発生した二次電子などを検出し
て顕微鏡像を観察することが可能です。エッチング・蒸着にも利用されます。

同社では最新のガリウムイオンを用いたFIB(集束イオンビーム)を利用し、
ナノレベルの精度で加工を行います。IC配線の接続・切断、評価用テス
トパッドの作成やマイクロ部品の加工、TEM観察用試料作製が可能です。


■EMI測定試験や計測器の校正、環境分析の受託サービスも実施
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同社では集束イオンビーム加工関連の他にもEMI測定試験や計測器校正、環
境分析など各種の分析受託サービスを行っています。

EMI測定試験では、EMIを測定し、各国の規制値を満足しているか評価を行う
ほか、正式測定レポートの発行、EMI対策指導なども要望に応じて行います。

環境分析では、公害関係法令に基づく工場排水、大気、土壌、産業廃棄物な
どを分析。労働衛生関係法令に基づく作業環境測定、上水分析、ビル環境測
定等も高精度に分析します。


分析・試験についてどのような内容でもお気軽に問い合せください。ご相談
の内容はすべて極秘扱いにいたします。即日対応などお急ぎの案件にも対応
いたします。立会い分析や故障解析等の技術コンサルティングもご相談くだ
さい。


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