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No.635 2008年5月26日 ┏━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ┃●FIB(集束イオンビーム)を利用したナノレベルの精密加工 ┗━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 本日は、高機能機器と厳密な分析力で、ナノレベルの世界から環境分析まで、 幅広く問題解決のサポートを行っている、セイコーアイ・テクノリサーチ株 式会社様をご紹介いたします。 ※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス! 】※※※※※※※※※※※ FIB(集束イオンビーム)装置を使用したナノレベルの加工 機器分析や環境分析、EMI測定試験も実施 ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ■ICの配線修正、断面加工・観察、TEM観察用試料作製まで  ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ 集束イオンビームとはイオンを電磁気力によってビーム状に絞ったもので、 このビームを使って加工や組成分析を行います。イオンビームにより試料表 面の原子をはじきとばして試料を削ったり、発生した二次電子などを検出し て顕微鏡像を観察することが可能です。エッチング・蒸着にも利用されます。 同社では最新のガリウムイオンを用いたFIB(集束イオンビーム)を利用し、 ナノレベルの精度で加工を行います。IC配線の接続・切断、評価用テス トパッドの作成やマイクロ部品の加工、TEM観察用試料作製が可能です。 ■EMI測定試験や計測器の校正、環境分析の受託サービスも実施  ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ 同社では集束イオンビーム加工関連の他にもEMI測定試験や計測器校正、環 境分析など各種の分析受託サービスを行っています。 EMI測定試験では、EMIを測定し、各国の規制値を満足しているか評価を行う ほか、正式測定レポートの発行、EMI対策指導なども要望に応じて行います。 環境分析では、公害関係法令に基づく工場排水、大気、土壌、産業廃棄物な どを分析。労働衛生関係法令に基づく作業環境測定、上水分析、ビル環境測 定等も高精度に分析します。 分析・試験についてどのような内容でもお気軽に問い合せください。ご相談 の内容はすべて極秘扱いにいたします。即日対応などお急ぎの案件にも対応 いたします。立会い分析や故障解析等の技術コンサルティングもご相談くだ さい。 ────────────────────────────────── 試験/分析/測定に関する受託企業や機器メーカ、設備などの関連情報も網羅 ほしい情報をすばやくキャッチ「試験・分析.com」装い新たにリニューアル https://lab.atengineer.com/ ────────────────────────────────── |