No.683　2008年8月1日
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┃●異物検査や膜厚測定・表面粗さ測定で実力を発揮する高精細画像
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コンフォーカル（共焦点）顕微鏡の画像をご覧になったことがありますか。
試料表面の微細部分の色・形状まで正確に再現し、高低差のある試料も、す
べての部分に完全に焦点を合わせた高精細画像が得られます。このような外
観検査装置に多数の実績があるのが、本日ご紹介するレーザーテック株式会
社様です。

※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※※※※

　　異物検査や膜厚測定・表面粗さ測定で実力を発揮する高精細画像
　　レーザーテックのコンフォーカル顕微鏡「オプテリクス C130」

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■試料が持つ本物の色を正確に再現
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同社では、半導体製造に不可欠な、フォトマスクの欠陥検査装置や、レー
ザー顕微鏡などの外観検査装置を開発提供。特に、「オプテリクス C130」
などのコンフォーカル顕微鏡に多数の実績があります。

リアルカラーコンフォーカル顕微鏡「オプテリクス C130」は、白色キセノ
ンランプ照明で、RGBの3波長それぞれにコンフォーカル画像を同時に取り込
むことで、色にじみがなく、試料が持つ本物の色情報の画像が得られます。

カラーフィルターの形状測定、顔料、金属材料、マイクロマシンの観察・測
定などに最適です。


■サンプル表面だけでなく内部まで観察可能
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多層構造サンプルの表層から内部までを観察可能にしたのが、ファイブライ
ンコンフォーカル顕微鏡「オプテリクス S130」です。

5種類の波長からサンプル、目的に合った波長を選択することができるので、
各層それぞれの3次元画像を構築し、観察することも可能です。フィルム、
ガラス、高分子などの各種材料、化学材料の表面と内部情報の観察や測定な
どに成果を発揮します。


「オプテリクス C130」や「オプテリクス S130」を使った、サンプル測定や
デモも行っておりますので、お気軽にお問い合わせください。


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