No.706　2008年9月10日
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┃●大型サンプル対応、ナノ測定、自動検査機の3機種が新たに追加
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多数の外観検査装置に実績があるレーザーテック株式会社様。同社では、
3CCD（RGB）の搭載で色再現性が高く、高精細な画像を提供する3CCDリアル
カラーコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS H1200」シリーズを取り扱っていま
す。このたび、新たに3機種が加わり、より幅広い試料に対応できるように
なりました。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※※※

　　　　300mmウエハー、液晶パネルの検査やリブ測定に対応
　　　　　レーザーテック「OPTELICS H1200」新シリーズ

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■大型サンプル対応ゲートタイプ「OPTELICS H1200G」
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新たに加わった3機種の1つが、大型サンプル対応ゲートタイプ「OPTELICS
H1200G」です。Z粗動ストローク150mm、パネル基板検査のために門柱型鏡基
（ゲート）に3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡 H1200ヘッドを取り付けまし
た。液晶パネルの検査から、太陽電池パネル、300mmウエハー、ガラス基板、
感光ドラム、重量のある金型に至るまで、多種多様なサンプルをカバーしま
す。


■ウエハー対応ナノ測定顕微鏡「OPTELICS H1200A-E350」
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mm～μm～nmまでの全領域を測定できる新機種が、300mmウエハー対応ナノ
測定顕微鏡「OPTELICS H1200A-E350」です。150mm、200mm、300mmウエハー
用検査のために、3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡H1200と小型対物レンズ
型AFMを組み合わせました。


■基板自動検査・測定顕微鏡「OPTELICS H1200AUTO」
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3つめの新機種は、基板自動検査・測定顕微鏡「OPTELICS H1200AUTO」です。
コンフォーカル顕微鏡 H1200の高速フレームレートを活かした自動検査機で、
従来の手動・目視の検査を大幅に省力化。簡単なアライメント操作で測定場
所を特定できるほか、ワンタッチで指定ポイントを中心位置へ移動できます。
計測画面の自動保存や、CSV形式で測定結果やマップの出力が可能です。


サンプル測定やデモ機貸し出しも可能です。お気軽にお問い合わせください。


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