No.936　2009年09月03日
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┃●世界を牽引する技術を用いた各種表面分析受託サービス
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半導体製造をはじめ、情報・材料・素子などのハイテク分野、既存産業分野
においても、表面分析の必要性は非常に高くなっています。技術の高度化、
部品の微細化、信頼性向上など、様々な局面において、表面分析技術は必要
不可欠。各種測定は、破壊原因の解明、製品の改良、新たな手法の発見にも
力を発揮します。

ナノサイエンス株式会社様は、表面分析機器販売に携わった豊富な経験を元
に、素材開発をはじめ、デバイス開発や故障解析などの問題解決に分析のプ
ロフェッショナルとして関わり、日本産業の発展に寄与。2007年には、世界
における表面分析のリーディングカンパニー、米国エバンス・アナリティカ
ル・グループ（Evans Analytical Group：EAG）の一員となり、世界水準の
表面分析技術をより速く、よりリーズナブルな価格で、お客様にご提供して
います。


※※※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※※※※

　　　不純物／組成分析、形態観察など、世界水準の技術を提供
　　　　　各種表面分析から結果報告、標準試料の販売まで

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■高感度分析、深さ方向分析、全元素の分析に。二次イオン質量分析
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同社では、SIMS（二次イオン質量分析）や、GDMS（グロー放電質量分析）を
はじめとする、各種技術を用いた不純物分析を行っています。代表的な技術
であるSIMSは、表面組成の分析法としては表面感度が最も高く、定量分析、
破壊測定、同位体測定が可能。また、測定できる膜厚範囲も10数オングスト
ローム～数10μmと広く、全元素の検出ができ、有機物の構造解析にも利用
することができます。

GDMSは、リチウムからウランまでの元素について、ppb～％のバルク分析が
可能。マトリックス効果が小さいため、標準試料がなくても半定量分析を行
うことができます。補助電極を用いることで、粉体・ブロック体・薄膜・ワ
イヤー状など、あらゆる形態の試料も測定可能です。金属材料だけでなく、
補助材料の使用で、半導体材料・絶縁物材料の測定も行えます。


■PIXE分析の併用で、高感度分析が可能。ラザフォード後方散乱分析
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各種組成分析で代表的な分析法の一つ、RBS（ラザフォード後方散乱分析）
では、物体を構成する元素の分布や、その量及び物体の結晶性を非破壊で評
価できます。

同社のRBSでは、試料中の元素構成を測定するPIXE分析を併用しており、よ
り高感度の分析が可能。標準試料がなくても絶対定量の分析ができるのが、
特徴です。


各種不純物分析、組成分析のほか、透過型電子顕微鏡を用いた形態観察、構
造解析、残量ガス分析などの表面分析受託サービスに対応します。
ご質問・ご相談など、お気軽にお問い合わせください。



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