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   【受託分析サービス】株式会社 クリアライズ
製品・技術

「微細構造を調査したい」①

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試験評価 微細構造調査 材料・素材  / 2021年03月22日 /  試験・分析・測定 先端技術

 

クリアライズでは、複数の微細構造調査を実施しており、試験前後の材料調査・評価も可能です。当サイトへ訪問いただきました皆様へ5回に分けて保有技術をご紹介いたします。

尚、詳しい資料に関しましては、下欄の「資料ダウンロードページへ」から入手いただくことが可能です。ぜひご覧ください。

 

1)走査透過電子顕微鏡(STEM)

 走査透過電子顕微鏡(STEM:Scanning Transmission Electron Microscope)は、微細化が進む材料やデバイス製品を原子レベルでの構造や組成の評価が可能です。HD-2700形STEMには、レンズの球面収差を補正する球面収差補正器(Cs-corrector)が搭載されており、構造・組成・化学結合状態を高水準で評価することができます。

 

 

製品概要 〔走査透過電子顕微鏡(STEM)〕
走査透過電子顕微鏡(STEM:Scanning Transmission Electron Microscope)は、微細化が進む材料やデバイス製品を原子レベルでの構造や組成の評価が可能です。HD-2700形STEMには、レンズの球面収差を補正する球面収差補正器(Cs-corrector)が搭載されており、構造・組成・化学結合状態を高水準で評価することができます。
特徴 ・特長
■高分解能観察:球面収差補正器搭載によって高分解能(原子レベ
 ル)な明視野STEM像、環状暗視野STEM像、二次電子像の取得が
 可能
■高感度EDX分析:大口径100mm2SDDにより、微小領域、微量
 元素の高感度分析が可能
■高エネルギー分解能EELS分析:冷陰極電解放出形電子銃とDual
 EELSの組み合わせによって、高エネルギー分解能で高精度な
 EELS分析に対応、組成分析や化学結合状態の評価が可能     
製品名・型番等
シリーズ名
微細構造調査
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