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   【受託分析サービス】株式会社 クリアライズ
製品・技術

「微細構造を調査したい」②

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試験評価 微細構造調査 材料・素材  / 2021年03月23日 /  試験・分析・測定 先端技術

 

クリアライズでは、複数の微細構造調査を実施しており、試験前後の材料調査・評価も可能です。当サイトへ訪問いただきました皆様へ5回に分けて保有技術をご紹介いたします。

尚、詳しい資料に関しましては、下欄の「資料ダウンロードページへ」から入手いただくことが可能です。ぜひご覧ください。

 

1)オージェ電子分光法(AES)

 オージェ電子分光法とは、細く絞った電子線を固体表面に照射して発生するオージェ電子のエネルギーと数を測定することにより、固体表面数nmに存在する元素の種類(Li~U)と量を同定する方法です。

 

 

2)帯電中和による分析事例(AES)

 AES分析では試料表面に電子線を照射するため、非導電性の試料などは試料表面が負に帯電してしまい、測定が困難となることがあります。

 帯電中和機能は、負に帯電した試料表面に低エネルギーのAr+イオンを照射することで帯電現象を中和し、測定を可能にするものです。

 

3)Zalar回転法を使用した分析事例(AES)

 オージェ電子分光法では、イオンスパッタリングとスペクトル測定を繰り返すことにより試料の深さ方向の元素分布を調べることができます(深さ方向分析)。その際、イオンを一定方向から照射すると表面があれてしまい、深さ分解能が低下します。しかし、Zalar回転法を用いて試料を回転させながらスパッタリングすることにより、表面あれが抑制されて深さ分解能の高い結果を得ることができます。

 

製品概要 〔オージェ電子分光法(AES)〕
オージェ電子分光法とは、細く絞った電子線を固体表面に照射して発生するオージェ電子のエネルギーと数を測定することにより、固体表面数nmに存在する元素の種類(Li~U)と量を同定する方法です。
特徴 ・特長
■電子線は細く絞ることができるため、微小領域の分析ができま
 す。
■元素の面分布(面分析)や線分布(線分析)を調べられます。
■イオンスパッタリングとスペクトル測定を繰り返すことにより、
 深さ方向の元素分布がわかります。深さ方向分析)
■トランスファーベッセルを使用することで、試料を大気に晒す
 ことなく装置へ導入することができます。
■冷却破断機構により装置内(超高真空)で試料を破断し、分析
 できます。
製品名・型番等
シリーズ名
微細構造調査
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