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   【受託分析サービス】株式会社 クリアライズ
製品・技術

「微細構造を調査したい」④

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試験評価 微細構造調査 材料・素材  / 2021年03月25日 /  試験・分析・測定 先端技術

 

クリアライズでは、複数の微細構造調査を実施しており、試験前後の材料調査・評価も可能です。当サイトへ訪問いただきました皆様へ5回に分けて保有技術をご紹介いたします。

尚、詳しい資料に関しましては、下欄の「資料ダウンロードページへ」から入手いただくことが可能です。ぜひご覧ください。

 

1)集束イオン/電子ビーム加工観察装置(FIBSEM)

 集束イオンビーム(FIB:focused ion beam)装置はガリウム(Ga)イオンを試料上に照射しながら走査し、試料の観察(SIM:scanning ion microscope 像)や加工を行う装置です。

 SEM機能を有しているため加工途中や加工後のSEM観察が可能で目的の領域を正確に加工して断面や薄片試料が得られます。

 

 

 

製品概要 〔集束イオン/電子ビーム加工観察装置(FIBSEM)〕
集束イオンビーム(FIB:focused ion beam)装置はガリウム(Ga)イオンを試料上に照射しながら走査し、試料の観察(SIM:scanning ion microscope 像)や加工を行う装置です。
SEM機能を有しているため加工途中や加工後のSEM観察が可能で目的の領域を正確に加工して断面や薄片試料が得られます。
特徴 ■透過電子顕微鏡(TEM)や走査透過電子顕微鏡(STEM)観察用の
 薄膜試料作製
■走査電子顕微鏡(SEM)やSIM観察用の断面試料作製
■試料断面、表面の結晶粒の観察
■タングステン(W)膜を指定領域に成膜
■各種顕微観察用試料の作製
製品名・型番等
シリーズ名
微細構造調査
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