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イベント

【Live配信セミナー 10/13】薄膜応力の発生メカニズムとその測定,密着性改善

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セミナー情報  / 2020年09月07日 /  IT・情報通信 電子・半導体 光学機器
イベント名 薄膜応力の発生メカニズムとその測定,密着性改善
開催期間 2020年10月13日(火)
10:30~16:30
会場名 Zoomを利用したLive配信 ※会場での講義は行いません
会場の住所 東京都
お申し込み期限日 2020年10月12日(月)15時
お申し込み

<セミナー No 010202>

【Live配信セミナー】
薄膜応力の発生メカニズムと

その測定,密着性改善


★化学的密着,アンカー効果など,密着性の機構とその指標,その試験法とは?
★平面,曲面,凸凹面など,薄膜にかかる応力の「違い」とその対応法

 

■ 講 師

ペルノックス(株) 開発センター センター長 岩村 栄治 氏

 

■ 開催要領
日 時 : 2020年10月13日(火) 10:30~16:30

会 場 : ZOOMを利用したLive配信 ※会場での講義は行いません
聴講料 : 1名につき50,000円(消費税抜,資料付)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき45,000円〕

〔大学,公的機関,医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせ下さい〕

 

■ Live配信セミナーの受講について

・本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。

・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
 → https://zoom.us/test

・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
 セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。

・パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。

・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
 お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。

・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。

・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
 複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

 

 

プログラム                                                                                                 

【講座の趣旨】


 本講演では,スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に,さらには樹脂塗布膜を含んで,薄膜の応力について理解し,膜応力にまつわる様々な問題点を解決するために必要な知識を習得します。膜応力を制御したい様々な状況の例を基に,応力の発生メカニズム,具体的な応力や密着力の測定法,薄膜の剥離や破壊に関して,基本知識から対策まで直感的にわかりやすく解説します。初学者,中堅技術者で薄膜の応力と密着性に関してその本質を基本から習得したい方,新製品開発やトラブルシューティング,さらには品質管理で応力や密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。



【セミナープログラム】


1.薄膜の応力とは:膜応力の理解と制御のために必要な基礎知識
  1.1 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の手順
  1.2 薄膜の応力を理解し制御するための3つのポイント
  1.3 なぜ,どのように膜応力が発生するのか?:
      金属膜・無機膜・樹脂膜の応力発生メカニズムと応力低減の方法
  1.4 知っておくべき内部応力の性質:
      パターニングされた膜,多層膜における膜応力とその影響


2.薄膜の剥離・破壊と膜応力との関係:応力を低減すれば剥離は防げるのか?

  2.1 薄膜の剥離・破壊とはどのような現象なのか?
  2.2 膜剥離・破壊を理解し制御するための3つのポイント
  2.3 負荷条件と,膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊モード:
       引張/圧縮力の負荷,ヒートサイクル,高温保持による違いの理解
  2.4 密着と粘着・接着との違い
  2.5 なぜ剥離が生じるのか?:
       様々な剥離トラブルの形態観察から密着性不良を起こした要因を読み取る方法
  2.6 薄膜の剥離/破壊・密着力を理解し,改善に繋がる効果的な考え方と

                     密着力向上の手法


3.薄膜の応力・密着力の測定:

  3.1 膜応力を評価したいがどの方法を選べば良いのか,測定データをどう使うのか?
  3.2 マクロ・ミクロ・温度変化・多層膜での膜応力の測り方:
      X線回折法,ラマン分光法,基板曲率法,最近の新しい膜応力の評価方法
  3.3 密着力測定で特に注意したい点:測定条件の影響と測定値の持つ意味
  3.4 密着力の具体的な測り方:テープテスト・3点曲げテスト
  3.5 密着力評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由:
      得られる情報と密着力改善につながる材料設計への活かし方

4.まとめ

 

【質疑応答】

 

セミナーの詳細についてお気軽にお問い合わせください。

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