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イベント

【Live配信セミナー 3/28】半導体洗浄における洗浄機内の流れとメカニズム

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化学・エレクトロニクス:セミナー  / 2024年02月07日 /  産業機械機器 化学・樹脂 電子・半導体
イベント名 半導体洗浄における洗浄機内の流れとメカニズム
開催期間 2024年03月28日(木)
10:30~16:30
会場名 ZOOMを利用したLive配信 ※会場での講義は行いません
会場の住所 東京都
お申し込み期限日 2024年03月27日(水)15時
お申し込み

<セミナー No.403405>

 

【Live配信セミナー】

半導体洗浄における

洗浄機内の流れとメカニズム

~洗浄効果を上げるポイント~

 

★流れの可視化動画を用いて「水の流れ」や「汚れの離脱メカニズム」を理解する

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■講師

反応装置工学ラボラトリ 代表 羽深 等 氏

 

■聴講料

1名につき55,000円(消費税込・資料付き)

1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

 

■Live配信セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
 → https://zoom.us/test
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
 Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。
・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

プログラムあああああああああああああああああああああああああああああああああああああ

【この講座で学べること】

・先端材料洗浄方法の原理と要素

・「清浄」の定義と役割

・キレイにするための表面の取扱い

・流れの意味、使い方と作り方

・洗浄条件設計の盲点

・生産プロセスに共通して潜在する工学現象(流れ・気泡などの動きと設計)

 

【講座概要】

洗浄は、半導体製造に重要な役割を持っています。洗浄には流体(水など)と薬液を用いますが、洗いたい場所に流れが届き、薬液が運ばれて行かないと、薬液は働きません。そこで、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機における水の流れを可視化観察動画・静止画と計算例で眺め、全体像が直感で分かることを目指します。それを起点にして、洗浄効果を上げる要点を説明して行きます。超音波も使われていますが、その効果についても流れと気泡の動画により説明します。さらには、今後、ナノメートル幅の極めて微細なパターンを洗浄する際に見落としがちなこと、一方では、古典的な操作が持っている意味と活用についても考えてみます。これらを総合して、トラブルに対応する時の視点と対策を紹介します。

 

1.洗う理由:汚れは何?どこから、いつ、何故やって来る?

 

2.洗浄の4要素:温度、時間、化学、力学

 

3.半導体の洗浄に特有のこと(何故、そこまでして何回も洗うのか)

 

4.先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)

 

5.半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)

 5.1 表面の現象とプロセス(基本:付着・脱離・引き剥がす・乾かす)

 5.2 流れ、熱、拡散、反応(洗う=汚れを運び去る操作)

 5.3 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)

 5.4 流れの可視化観察(身近なところにも意外な流れ。「流れ」と「拡散」の感覚を動画で理解)

 

6.洗浄機内の流れと反応

 6.1 枚葉式洗浄機

  6.1.1 水の流れ(水が広がる観察動画と計算例。水膜は0.1㎜厚。)

  6.1.2 化学反応の例(表面反応機構もここまで分かる)

 6.2 バッチ式洗浄機

  6.2.1 水の流れ(観察動画と計算例。水の循環は無駄。)

  6.2.2 水流を最適化(入口と出口を変えると循環流を抑制可能)

 6.3 超音波の働き(水と気泡の観察動画。気泡は隠れたところに届きにくい。)

 

7.洗浄の評価方法(計算、設計、実験検証、故意汚染、環境起因汚染)

 

8.狭い空間の洗浄(狭く深い溝の奥、微細化で洗浄面積増大)

 

9.まとめ:困った時の視点と対策(境界層を壊そう!)

 

セミナーの詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

 

2名以上同時にお申込される場合、2人目以降の方の情報は【弊社への連絡事項がございましたら、こちらにお書きください】欄にご入力をお願いいたします。