イベント名 | 塗布膜乾燥のメカニズム、 各種膜厚ムラの形成機構と対策 |
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開催期間 |
2025年03月13日(木)
13:00~16:30 |
会場名 | ZOOMを利用したLive配信 |
会場の住所 | 東京都※会場での講義は行いません |
お申し込み期限日 | 2025年03月12日(水)15時 |
お申し込み |
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<セミナー No.503224>
【Live配信セミナー】
塗布膜乾燥のメカニズム、各種膜厚ムラの形成機構と対策
★どのように液がぬれ広がり、乾燥されていくのか?スジムラ、膜剥離、クラックへの対応は?
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■講師
東京都市大学 機械システム工学科 教授 博士(工学) 白鳥 英 氏【ご専門】流体工学・熱工学
■聴講料
1名につき49,500円(消費税込、資料付)
1社2名以上同時申込の場合1名につき44,000円(税込)
大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。
■Live配信セミナーの受講について
・本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
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・パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。
・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
プログラムあああああああああああああああああああああああああああああああああああああ
【習得できる知識】
・液膜流れに関わる物理現象の特徴
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ
・実験・シミュレーション方法
【講座趣旨】
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。 このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして 1)基板端部に生じる隆起、2)基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。
【講演項目】
1.塗布乾燥工程の概要
1.1 関連する産業分野と塗布方式
1.2 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
2.液膜内の熱流動に関する物理
2.1 液膜流れ
1) 表面張力と重力の影響
2) 遠心力の影響
3) マランゴニ効果
4) 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
2.2 熱物質輸送
1) 加熱乾燥と熱伝導
2) 樹脂と溶媒の相互拡散
3) 溶媒の蒸発特性
3.各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
3.1 基板端部の隆起
1) 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
2) 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
3) 対策方針
3.2 放射状スジムラ
1) 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
2) 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
3) 対策方針
4.膜厚ムラの分析方法
4.1 膜厚ムラの観察方法
1) 干渉光学系による膜厚の測定
4.2 数値シミュレーション方法
1) 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
2) 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
3) 機械学習を用いた液膜流れの計算方法
【質疑応答】
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