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イベント

【Live配信セミナー 3/25】パワー半導体接合における銀焼結接合材料の開発と機械特性の評価

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化学・エレクトロニクス:セミナー  / 2025年02月04日 /  自動車 産業機械機器 電子・半導体
イベント名 パワー半導体接合における銀焼結接合材料の開発と機械特性の評価
開催期間 2025年03月25日(火)
10:30~16:15
会場名 Zoomを利用したLive配信
会場の住所 東京都※会場での講義は行いません
お申し込み期限日 2025年03月24日(月)15時
お申し込み

<セミナー No.503234>

 【Live配信セミナー】

パワー半導体接合における

銀焼結接合材料の開発と機械特性の評価 

 

★ 実装の長期信頼性へ向けて! 銀ナノ粒子の設計、複合ペースト材料の開発事例を詳解!
★ シート状接合材料、その接合プロセスについて解説いたします!

 

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■ 講 師

1.東京都市大学 総合研究所 特任教授 博士(工学) 陳 伝トウ 氏
2.(株)大阪ソーダ 事業開発本部 イノベーションセンター 友利 大介 氏
3.ローム(株) 研究開発センター 信頼性技術グループ グループリーダー  博士(工学) 若本 恵佑 氏

 

■ 聴講料

1名につき60,500円(消費税込、資料付)

〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき55,000円〕
〔大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください〕

 

◆ Live配信セミナーについてのお願い ◆

■ お申込み前にご確認ください
・ パソコンもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
快適に視聴するには30Mbbs以上の回線が必要です。

 

・ Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はWebブラウザ(Google Chrome、Firefox、Microsoft Edge)でも受講可能です。Zoomの視聴にあたり、クライアントおよびWebブラウザは最新版にアップデートして使用してください。

 

・ 質問の際など、クリアな音声で会話ができるよう、ヘッドセット(イヤホンマイク)の使用をお勧めいたします。

 

・ Zoomの使用方法につきましては、事前にWeb等でご確認ください。

 

■ Live配信セミナーの受講について

・ 開講日の4~5日前に視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

 

・ 出席確認のため、視聴サイトへのログインの際にお名前、ご所属、メールアドレスをご入力ください。ご入力いただいた情報は他の受講者には表示されません。

 

・ 開催前日着までに、製本したセミナー資料をお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。

 

・ 当日は講師への質問をすることができます。

 

・ 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

 

・ 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

 

プログラム                                                                                    

 

【10:30-12:00】

1.パワー半導体向け銀焼結接合および新規接合材料と信頼性評価

 

東京都市大学 総合研究所 特任教授 博士(工学) 陳 伝トウ 氏

 

【略歴】
大阪大学 F3D実装協働研究所 招聘教授

 

【習得できる知識】

SiCやGaNなどのワイドバンドギャップ(WBG)半導体材料を利用し、省エネ高効率化と小型軽量化の双方を兼ね備えるパワーデバイスの実現には、実装の長期信頼性構築が不可欠である。そのため、WBGパワーデバイスが曝される200℃~300℃の高温度領域でも動作保証する放熱材料、構造、冷却技術の革新的な技術の開発と信頼性評価が必要となる。本講演では高耐熱と高熱伝導率の焼結Agペーストを紹介し、異なる異種材との接合の特徴、また新しい高機能性高信頼性の複合焼結実装材料とシート状の実装材料を纏めて解説する。次世代パワー半導体実装信頼性と新実装材料開発方法の視点から役に立てれると考える。

 

【講座の趣旨】

SiCやGaNなどのワイドバンドギャップ(WBG)半導体材料を利用し、省エネ高効率化と小型軽量化の双方を兼ね備えるパワーデバイスの実現には、実装の長期信頼性構築が不可欠である。そのため、WBGパワーデバイスが曝される200℃~300℃の高温度領域でも動作保証する放熱材料、構造、冷却技術の革新的な技術の開発と信頼性評価が必要となる。この講座では高耐熱と高熱伝導率の焼結Agペーストを紹介し、新しい高機能性高信頼性の複合焼結実装材料とシート状実装材料の開発、またそれによる接合構造の新展開、構造信頼性と大面積接合をわかりやすく、解説する。

 

1.WBGパワー半導体

 1.1 WBGパワー半導体の特徴
 1.2 WBGパワーモジュールの構造および開発動向

 

2.高温向けに求める実装技術

 2.1 鉛フリーはんだと固液相接合
 2.2 金属粒子焼結接合
 2.3 低温固相接合

 

3.銀粒子焼結接合技術と異種材界面の接合

 3.1 銀粒子焼結接合技術の特徴
 3.2 新型ミクロンサイズ銀粒子の低温焼結
 3.3 異種材界面接合とメカニズム

 

4.新型銀の複合ペースト焼結接合

 4.1 新型銀ーシリコン粒子複合ペースト構造信頼性
 4.2 新型銀ーアルミ粒子複合ペースト構造信頼性

 

5.銅ペースト接合と信頼性評価

 4.1 銅ペースト焼結と性能評価
 4.2 銅ペーストの信頼性評価

 

6.シート型接合材料について

 6.1 銀ポーラスシート接合
 6.2 他シート型接合技術

 

【質疑応答】

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【13:00-14:30】

2.焼結銀接合に適用可能な低温焼結性銀ナノ粒子の開発

 

(株)大阪ソーダ 事業開発本部 イノベーションセンター 友利 大介 氏

 

【習得できる知識】

・パワー半導体デバイスの実装に用いられる焼結銀接合について
・焼結銀接合材の特性を決定する上で鍵となる銀ナノ粒子について

 

【講座の趣旨】

パワー半導体デバイスの実装に用いられる焼結銀接合材に関して、構成成分の一つである銀ナノ粒子について述べる。あわせて焼結銀接合の用途別に銀ナノ粒子の開発事例を紹介する。

 

1.焼結銀接合について

 1.1 焼結銀接合材とは
 1.2 接合方法とその特徴について

 

2.銀ナノ粒子について 

 2.1 銀ナノ粒子とは
 2.2 粒子設計と最密充填
 2.3 銀ナノ粒子の合成について

 

3.各種プロセスに合わせた銀ナノ粒子の開発事例

 3.1 加圧プロセス
 3.2 無加圧プロセス

 

【質疑応答】

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【14:45-16:15】

3.SiCデバイス接合へ向けた銀焼成接合材の機械特性評価

 

ローム(株) 研究開発センター 信頼性技術グループ グループリーダー  博士(工学) 若本 恵佑 氏

 

【習得できる知識】

・接合技術
・接合部の信頼性評価方法
・材料機械特性評価技術
・材料劣化現象の理解

 

【講座の趣旨】
SiCパワーデバイスは、電力ロスが少ないため。パッケージ品の大電力密度化へ期待されている。この優れたSiCの特性を活かすためには、異種材との高耐熱・熱伝導接合が重要になる。さらに、実駆動を模擬した信頼性試験後も、特性保持し続ける必要がある。本講座は、銀焼成材の熱信頼性に焦点を当て、将来の新パッケージに必要な評価方法について説明する。

 

1.大電力パワー密度パッケージ化へ向けて

 1.1 ワイドバンドギャップ半導体
 1.2 ダイボンディング技術
 1.3 低熱抵抗パッケージ
 1.4 熱信頼性試験後の課題と評価方法

 

2.銀焼成材の薄膜引張機械特性

 2.1 銀ペースト
 2.2 焼結プロセス
 2.3 銀焼成の空孔組織
 2.4 一軸引張試験
 2.5 破面観察

 

3.銀焼成接合体の信頼性試験評価

 3.1 信頼性試験評価技術(熱サイクル試験・曲げ試験技術)
 3.2 ダメージパラメータの考え方
 3.3 接合劣化度の分析結果

 

4.銀焼成材の劣化メカニズム

 4.1 凝集破壊の駆動力
 4.2 空孔成長の駆動力
 4.3 SEM内In-situ引張試験技術

 

5.結言:熱信頼性試験評価フローの考え方

 

【質疑応答】

 

セミナーの詳細についてお気軽にお問い合わせください。

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