【Live配信 or アーカイブ配信】ウェットエッチングプロセスとその特性評価及び高機能化

＜セミナー　No.512209＞

【Live配信 or アーカイブ配信】
ウェットエッチングプロセスと

その特性評価及び高機能化

★エッチング機構の基礎，装置，薬液の選び方・使い方，エッチング条件の最適化
★残渣やムラ，パーティクル汚染，エッチング未到達，寸法ズレ・・・トラブル事例とその対策
★環境負荷低減の薬液，超音波の利用など，最近の改善事例

　
■　講師
広島市立大学 大学院 情報科学研究科 医用情報科学専攻 教授 博士(工学) 式田 光宏 氏

■　開催要領
日時：【Live配信】２０２６年１２月１９日(金)　１０：３０～１６：３０　
         【アーカイブ（録画）配信】２０２６年１月６日まで受付

         （視聴期間：１月６日～１月１６日まで）
会場：ZOOMを利用したLive配信またはアーカイブ配信　※会場での講義は行いません
聴講料：1名につき５５ ,０００円（消費税込，資料付）
〔１社２名以上同時申込の場合１名につき４９，５００円（税込）〕
〔大学，公的機関，医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせ下さい〕

■申し込み時のお願い

本セミナーは【Live版】か【アーカイブ版】の何れか，選択制となります。原則として申し込み後の変更は出来ませんのでご留意願います。ご不明の際は本セミナーの企画担当までお問合せ願います。

■セミナーの受講について

・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test
・開催数日前または配信開始日までに視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
　セミナー開催日時またはアーカイブ配信開始日に、視聴サイトにログインしていただきご視聴ください。
・出席確認のため、視聴サイトへのログインの際にお名前、ご所属、メールアドレスをご入力ください。
　ご入力いただいた情報は他の受講者には表示されません。
・開催前日または配信開始日までに、製本したセミナー資料をお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
　お申込みが直前の場合には、開催日または配信開始日までに資料の到着が間に合わないことがあります。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
　複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

プログラム                                                                                               
【講座の趣旨】
　 本セミナーでは，従来から広く用いられてきたウェットエッチング加工（特に 結晶異方性エッチング）について，基礎的な内容（結晶異方性，表面粗さ）を 説明するとともに，具体的な形状作製，エッチング加工の高機能化について 解説する．

【セミナープログラム】
１．結晶異方性エッチングにおける基本特性 　
　 1.1 エッチング速度の結晶方位依存性 　
　 1.2 エッチング液濃度および温度依存性 　
　 1.3 結晶異方性エッチングモデル 　
　 1.4 表面粗さの結晶方位依存性 　
　 1.5 エッチング液種の違い（KOHとTMAHの違い）

２．結晶異方性エッチングにおける注意事項 　
　 2.1 エッチピット発生メカニズムとその対策
　 2.2 マイクロピラミッド発生メカニズムとその対策 　
　 2.3 液中不純物の影響

３．エッチング特性対する添加物の影響
　 3.1 金属イオンの影響
　 3.2 界面活性剤の影響

４．エッチング加工の高機能化 　
　 4.1 アンダーカット現象のメカニズムとその対策 　
　 4.2 多層マスクによるエッチング形状の多面体化
　 4.3 エッチング加工の高速化
　 4.4 異方性エッチングによるスキャロッピングの選択的除去

【質疑応答】

※受講者の皆様の抱える疑問点や問題点について，セミナー開催3日前

までに 「事前リクエスト用紙」 （請求書に同封）や 「Eメール」 を御寄せ

頂けましたら，講演中に対応させて頂きます。

※セミナーの詳細についてお気軽にお問い合わせください。

※なお，「２名以上同時にお申込される場合、２人目以降の方の情報は

【弊社への連絡事項がございましたら、こちらにお書きください】欄に

ご入力をお願いいたします」