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1台で4つの薬液循環ラインの薬液濃度を同時にリアルタイムに測定 『ChemicAlyzer(ケミカライザー)シリーズ』に配管直結型4ch仕様をラインアップ

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薬液成分濃度計  /  電子・半導体 試験・分析・測定 光学機器

1.開発の経緯

 半導体・液晶業界では、ウェハーやガラス基板の大型化、パターンの微細化などにより、これまで以上に処理薬液の高精度な濃度管理が求められています。薬液濃度を高精度に管理するためには、測定精度の高さは当然のこと、適切なタイミングでの薬液追加供給のために、タイムラグが少なく応答性の高い測定が必要となります。また、最近ではウェハーやガラス基板の大型化などにより、従来のバッチ式のように複数枚同時に洗浄することが難しくなってきているため、1枚ごとに洗浄する枚葉式の洗浄装置のニーズが高まってきています。枚葉式の洗浄装置は、1枚ごとに洗浄するため、処理薬液を投入するための薬液循環ラインも洗浄槽ごとに複数設置されており、品質管理面から循環ラインごとに薬液濃度をリアルタイムに測定することが求められています。


2.ケミカライザー4chの概要

 1台の装置で最大4つの薬液循環ラインを個別に同時測定できる「ChemicAlyzer配管直結型(4ch仕様)」の開発に成功しました。

今回の装置のベースとなる光ファイバー型薬液成分濃度計は、近赤外線を用いた光学式濃度計で、光ファイバーを用いることにより薬液の循環ラインに専用のPFAチューブセル(注2)を直結させ、配管の外側から内部の液体に光を当てることで、応答性の高い測定ができます。またクラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高流量、高温、泡の発生といった複雑な測定環境においてもリアルタイムに安定した高精度な測定が可能です。

は、このベース技術を活用することで枚葉式  の洗浄装置のように薬液循環ラインが複数設置されているような環境でも、最大4つのラインでの同時測定が可能になりました。これにより従来は、測定箇所に1台ずつ必要だった装置が複数のラインでも1台で済むようになるため、導入コストの低減が図れるとともに、設置スペースの省スペース化も図れます。また、1セルあたり最大5種類の混合薬液の測定ができるため、1つの薬液循環ラインから複数の異なる薬液を投入する際の測定にも対応でき、薬液濃度管理のさらなる適正化につなげることができます。

(1)特長

■1台の装置で最大4つの薬液循環ラインの同時測定が可能。

■1セルあたり最大5種類までの混合薬液の測定が可能。

■最大4つの測定箇所を1台で対応できるため、装置の設置スペースの省スペース化が可能。

となり、装置の設置スペースの省スペース化が可能。

■循環ラインに直結した専用のPFAチューブセルを通る液体の濃度を直接測定可能なため、測定薬液のサンプリングが不要となり、サンプリングのためのタイムラグがなく、リアルタイム測定が可能。

■循環ラインにPFAチューブセルを直結して使用するため、コンタミフリーな測定が可能。

■クラボウ独自の測定アルゴリズムの採用により、高い流量、高い液温、泡の発生など複雑な測定環境に影響されにくい測定が可能。

 

(2)主な仕様

■測定原理:近赤外線吸収方式

■測定対象:半導体・液晶製造工程における洗浄液、剥離液、エッチング液中の無機、有機成分濃度

■最大測定可能セル数:4

■測定対象配管:φ1/2  スーパーPFAチューブ *測定する薬液により異なる。

■測定時間:4セル同時測定 約1秒

(仕様により異なる。また、液循環時間は含まない。)

■泡対策:高速チョッピング測定による異常データ除去方式

■測定液温度:MAX80℃  *測定する薬液により異なる。

■光ファイバー長:標準 10m×2本×4式

■分光部外形寸法:W605×D350×H320(突起部を除く)(単位:mm)

■電源:AC100~220V MAX200VA

 

(3)測定対象薬液
「フッ酸」などの単成分液、「アンモニア/過酸化水素」「塩酸/過酸化水素」の混合薬液。このほかにも、半導体・液晶で使用される主要薬液についても順次拡充する予定です。

 

(4)主な用途
■半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液、エッチング液の濃度測定。
■液晶製造工程での有機剥離液、エッチング液の濃度測定。

 

3.発売時期

平成24年1月から

 

4.価  格

1,200万円(税別)/台~ *測定する薬液により異なる。

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