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オールフッ素樹脂製フィルター・PE樹脂製フィルター「KRANFIL(クランフィル)シリーズ」

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フッ素樹脂フィルター  /  化学・樹脂 電子・半導体 先端技術

クラボウが世界で初めて開発したオールフッ素樹脂製フィルター。ろ材、サポート材のすべてをPFAまたはPTFEで構成しており、優れた耐薬品性を備えています。0.03~10μmまで豊富に取り揃えています。高温薬液対応のカプセルタイプ「KRANFILN」は、カプセル自体を上下逆転させても使用できる2次側ベント構造を採用しています。従来、上部1本だった排気用チューブを2本に増やし、ろ過前の薬液自体に含まれるエアーを最初のチューブから、ろ過後に発生したエアーを2本目のチューブから排気できるようにしている。これにより、ウェーハ工程の歩留り低下につながるパーティクルとエアーの両方を除去できる。さらにカプセル内には、親水性を向上させた「KRANFIL RII」シリーズのカートリッジも組み込み可能となっている。クラボウが世界で初めて開発したオールフッ素樹脂製フィルター。ろ材、サポート材のすべてをPFAまたはPTFEで構成しており、優れた耐薬品性を備えています。0.03~10μmまで豊富に取り揃えています。

 

<主なラインアップ>

■KRANFIL(クランフィル)

オールフッ素樹脂製のため、耐薬品性、耐熱性に優れています。使用時の金属溶出がほとんどありません。

 

■KRANFILⅡ・ⅡL(クランフィルⅡ・ⅡL)

オールフッ素樹脂製のため、耐薬品性、耐熱性に優れています。使用時の金属溶出がほとんどありません。同じサイズでクランフィルの2倍以上のろ過面積を持っています。

フィルターの接続口径を大きくしていますので流量特性は、50ℓ/分まで直線性をしめします。

 

■KRANFIL-N

2次側ベント構造のため、上下逆転させ使用した場合においても2次側のエアー除去が可能です。膜面積と孔径の組み合わせが選択でき、幅広い要望にお答えすることができます。また、親水性を向上させた、クランフィルRⅡシリーズをセットすることも可能です。

 

その他、様々なニーズに対応したフィルターを準備しておりますのでお気軽にお問い合わせください。

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