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赤外線応用計測装置 インライン赤外線液体成分濃度計(ハイブリッドタイプ)「ケミカライザーHYBRID HBシリーズ」

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液体成分濃度計  /  産業機械機器 電子・半導体 試験・分析・測定

~インライン赤外線液体成分濃度計(ハイブリッドタイプ)

「ケミカライザーHYBRID HBシリーズ」の紹介~

 

ケミカライザーの精度をそのままに赤外線プラス可視光(紫外光)での

測定を可能にしたハイブリッドタイプの濃度計です。

インライン赤外線液体成分濃度計(ハイブリッドタイプ)「ケミカライザーHYBRID HBシリーズ」

 

 

従来の赤外線濃度計ケミカライザーに可視光、あるいは紫外光を用いた計測をプラス

しました。
ケミカライザーACEⅡの高精度測定を維持しながら、幅広い対象薬液への対応が可能に

なりました。

 

<「ケミカライザーHYBRID HBシリーズ」の特長>

●オゾンと薬液の濃度を同時に測定することが可能です。

●サンプルの多少の濁りや泡、温度変動に影響されずに測定が可能です。

●消耗品が少ないので、保守が容易です。

●自己診断機能がついているため装置のチェックが簡単です。

●洗浄機のホストコンピュータとの通信が可能です。

 

<「ケミカライザーHYBRID HBシリーズ」の用途例>

*半導体製造工程における洗浄プロセスでの希薄アンモニア過水、塩酸過水、フッ酸過水等の濃度測定

*半導体・ウェハー製造工程におけるエッチングプロセスでの混酸濃度及びシリコン濃度測定

*ウェハー製造工程におけるアルカリ、活性剤などのエッチング液濃度

*ウェハー製造工程におけるHFオゾン、硫酸オゾン濃度測定

*液晶パネル製造工程の銅エッチング工程における銅、過酸化水素、酸の濃度測定

*太陽電池製造時の洗浄プロセスでのフッ硝酸シリコン濃度測定

*過酸化水素による銅やモリブデンなど金属エッチング工程における、金属イオン、過酸化水素濃度測定

 

豊富な製品群による高いレベルのセンシングが、工程を最適化。

製品の品質向上、コストダウンを強力にサポートします。

 

ご相談、カタログのご請求などクラボウまでお気軽にお問い合わせ

ください。

 

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