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クラボウが『セミコン2016』で 高耐熱フィルム、微量金属除去フィルターなどを展示

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イベント 機能性フィルム  / 2016年11月25日 /  食品・機械 電子・半導体 先端技術
イベント名 SEMICON Japan 2016
開催期間 2016年12月14日(水) ~ 2016年12月16日(金)
会場名 東京国際展示場(東京ビッグサイト)
ブース番号 2213
会場の住所 東京都江東区有明3-11-1
地図 http://www.bigsight.jp/access/map/

 クラボウは『 セミコン 2016 』に出展します! 

SEMICON JAPAN 2016 ロゴ

クラボウ(倉敷紡績株式会社)では、今年も『SEMICON Japan 2016』に出展します。

 

二軸延伸技術により、高耐熱性を実現した高機能フィルム微量金属除去フィルターなどを展示。お手にとってご覧いただけますので、ぜひクラボウブースに足をお運びください。 

 

主な出展製品をご紹介

 


高耐熱・高機能フィルム群


工数削減に貢献!

半導体製造工程テープの基材フィルムとして、200℃以上の高温、薬品の厳しい工程で、

「ウエハを保護できるテープがなかった」

「ウエハ保護テープを貼り替えている」

といった課題をお持ちの企業の工数を削減できます。

 

耐熱性、耐薬品性に優れる「エクスピーク」、「トルセナ」を基材としたテープで保護
・様々な厳しい工程でテープの交換が不要になり、貼り替え工数を削減

 

品質向上に貢献!
ウエハの薄化が進み、

「高温工程で保護テープが収縮してウエハが変形する」

「保護テープをはがす時にウエハが破損する」

といった課題をお持ちの企業の品質を向上します。

 

・200℃収縮と異方性に優れる
 「エクスピーク」「トルセナ」を基材としたテープで保護
・UV剥離ができる「トルセナ」で保護すると、軽い力で剥離可能

・高温環境でも低オリゴマーなので、低汚染かつ、粘着不良改善を実現

 


 

高耐熱 特殊ポリエステルフィルム「Torcena(トルセナ)

 PET基材の耐熱・耐環境課題を解決した特殊ポリエステルです

  トルセナ 一般の(他社製)PET
Tg 240℃
厚み:25μm~50μmに対応
オリゴマーの発生比較 petフィルムのオリゴマー画像
 

175℃×48hrs加熱後のオリゴマー比較

 トルセナの特長 

 

高い耐熱性…低熱収縮率、かつ熱収縮の異方性が小さい

UV(紫外線)透過性…UV硬化タイプの粘着剤が選べる

低オリゴマー…ウエハを汚染しない、粘着性能の低下がない

耐加水分解性…水洗浄+乾燥工程に!

 

 トルセナの用途例 

  • 高温工程のウエハ保護テープの基材、耐熱・UVはく離の両立

 


 

高耐熱 保護フィルム PEEK系「EXPEEK(エクスピーク)

 ポリイミド級の耐熱性と、他社にはない視認性(透明)を両立します!

 

Tg 320℃ 

厚み:9μm~50μmに対応

 

 エクスピークの特長 


ポリイミド級の耐熱性…低熱収縮率、かつ熱収縮の異方性が小さい

優れた耐薬品性…ポリイミドが苦手な耐アルカリ性

吸水性吸水加熱の連続工程で、変形しない

低オリゴマー…ウエハを汚染しない、粘着性能の低下がない

着色、濁りを抑えた透明性

 

 エクスピークの用途例 

  • 高温工程のウエハ保護テープの基材
  • 装置や部品の付着物洗浄に対して、汚れ付着を保護し、貼り替え

  • 耐熱性、耐薬品性、低発塵性ラベル 

 


 

高耐熱 ポリイミドPIフィルムMidfil(ミドフィル)

 熱可塑性ポリイミドPIフィルムの中で最高レベルの耐熱性を実現しています!

Tg 320℃ 

厚み:6薄膜)μm~500μmに対応

高耐熱フィルム「ミドフィル」の熱成形加工品
  熱成形加工品

  ミドフィルの特長 


熱可塑性樹脂の中で、最高レベルの耐熱性

ポリイミドで、レーザー溶着や超音波溶着が可能、熱成形加工が可能
厚み対応の広いポリイミド…6μm~500μm

低アウトガス…溶媒起因のガスが発生しない

一般的なポリイミドより、低吸水

  

 ミドフィルの用途例 

  • 耐熱性が必要なパッキンやガスケット など
  • CFRTP(炭素繊維強化熱可塑性樹脂)用マトリクス
 耐熱パッキン・ガスケットなど 耐熱樹脂ワッシャー
耐熱パッキン・ガスケットなど
耐熱樹脂ワッシャー

 

 


 液体ろ過フィルター


微小金属(イオン)を除去!
液体ろ過フィルター「クラングラフト」

 

「クラングラフト」カートリッジタイプ KG10、KG20 液体ろ過フィルター「クラングラフト」カプセルタイプ KGCF02 高濃度の金属イオンをppb(10億分の1)レベル~ppt(1兆分の 1)レベルまで一気に低減
速い流速のろ過操作にも対応可能
有機溶剤など多種の薬液に対応
 ※処理対象の薬液に適した捕集材を選択可能
複合的なニーズに対応可能

 


 

『SEMICON Japan 2016』会場のクラボウブースにて、スタッフ一同、みなさまのご来場をお待ちしております。お気軽にお立ち寄りください。

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