【有機EL研究】有機EL成膜装置を新規導入しました｡

有機EL成膜装置を新規導入しました｡

2016年12月15日導入 

 EL材料特性検討､EL素子の作製､ELプロセスの研究・開発・検証が

 可能です。

　本装置は､高真空雰囲気にて基板表面に有機材料および金属材料を

　連続的に複数層蒸着させる装置です。

  ■ 特　徴

　基板上に有機材料を替えるパターンと膜厚の違うパターンを形成出来ます｡

  ■ 仕　様

　・メーカー：日立造船株式会社製　　 ・作成基板サイズ：100×100mm

　・有機材料蒸発源機構：6連式2式　   ・金属材料蒸発源機構：3式

　・アルカリ蒸発源機構：1式