【微細加工】フェムト秒グリーンレーザ

■概　要

 フェムト秒レーザは、極限に短い時間だけ光るレーザです。

「フェムト秒」とは10の-15乗(1000兆分の1)秒のことです。光は1秒間に地球を7周半進みますが、そんな光も1フェムト秒では0.3μｍしか進むことができません。

■特　徴

1) パルス幅が電子-フォノン結合時間(数ピコ秒)よりも短い。

2) 熱拡散する前に融点を超える温度に加熱され蒸発が起こる。
3) レーザ光照射部はアブレーションが起こり除去される。
4) 被加工物内部への熱伝導による損失過程を無視できるため、レーザエネルギーが格子系に効率よく注入される。

■加工事例

非熱加工なので微細なパターンが描けます。
また、ガラス、ステンレス、銅板など、様々な素材に印字可能です。
従来からあるアプリケーションにおいても、1クラス上の加工品質を実現します。

また、東京ビッグサイトで開催された国際電子回路産業展JPCA2017で、esi社様のブースにてクオルテックで作製したサンプルをご紹介いただきました。

■設備紹介

・esi製　LodeStone
・パネルサイズ：533mm×635mm
・加工精度：±20μm
・最大加工速度：500mm/sec
・ガルバノ：2,000points/sec