対応試験の紹介
X線光電子分光分析（XPS）
XPSとは、X線光電子分光を表し、AESとはオージェ電子分光を表します。
SEM／EDS分析では、難しかった試料最表面（情報深さ0.5～6nm）の厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能となります。
XPS：有機・無機の表面分析／化学状態分析（X線）
AES：無機の微小部<100nm・元素分析（電子線）
対応保有設備
XPS・AES複合機
試験所所在地
- 大阪府堺市
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