対応試験の紹介
XPSとは、X線光電子分光を表し、AESとはオージェ電子分光を表します。
SEM/EDS分析では、難しかった試料最表面(情報深さ0.5~6nm)の厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能となります。
XPS:有機・無機の表面分析/化学状態分析(X線)
AES:無機の微小部<100nm・元素分析(電子線)
対応保有設備
XPS・AES複合機
試験所所在地
- 大阪府堺市
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