対応試験の紹介
プラズマFIB-SEM
3Dパッケージの故障解析や、広い領域のFIB加工や観察など様々なニーズに対応します。
Xeを用いたプラズマFIBなので、従来と比べて短時間で大面積（最大500μm幅）の加工が可能。
また、FE-SEMを搭載しており、断面像の観察と加工を交互に繰り返す事で、微小な不良箇所を見逃しません。EDS分析も同時に可能です。
試験所所在地
- 大阪府堺市
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