製品・技術
回路修正
数nm程度に集束したイオンビームを試料に照射・走査することにより、
数百μm~サブミクロンオーダーの加工をご提供できます。
対象材料に適した各種エッチングガスやメタル/絶縁膜デポジションを用いて、
お客様のご要望に沿った回路修正やPAD作製が可能です。
解析方法
・数十kVで加速され放銃されたイオンビームをコンデンサレンズで集束、
偏向電極によりビーム走査をおこない試料に照射します。
・スパッタリングより試料から励起された2次電子を検出・信号化することにより
画像取得を行います。
・イオンビーム照射と共に各種ガスを導入・反応させることにより、
高精度かつ選択的なエッチング/デポジションを行います。
・CADデータをご提供頂く事により、多層LSI配線下層部に対する高精度な
加工アプローチが可能です。
解析事例
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