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回路修正

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回路修正 エッチングガス メタル 絶縁膜 PAD作製  / 2023年05月22日 /  電子・半導体 試験・分析・測定 先端技術

 

回路修正

 

 数nm程度に集束したイオンビームを試料に照射・走査することにより、

 数百μm~サブミクロンオーダーの加工をご提供できます。

 

 対象材料に適した各種エッチングガスやメタル/絶縁膜デポジションを用いて、

 お客様のご要望に沿った回路修正やPAD作製が可能です。

 

解析方法

 

  ・数十kVで加速され放銃されたイオンビームをコンデンサレンズで集束、

   偏向電極によりビーム走査をおこない試料に照射します。

  ・スパッタリングより試料から励起された2次電子を検出・信号化することにより

   画像取得を行います。

  ・イオンビーム照射と共に各種ガスを導入・反応させることにより、

   高精度かつ選択的なエッチング/デポジションを行います。

  ・CADデータをご提供頂く事により、多層LSI配線下層部に対する高精度な

   加工アプローチが可能です。

 

  

 

解析事例

 

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